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苑涛

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）江苏省薄膜材料重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子密度
  • 1篇电子温度

机构

  • 1篇苏州大学
  • 1篇苏州阿特斯阳...

作者

  • 1篇洪布双
  • 1篇苑涛
  • 1篇虞一青
  • 1篇邹帅
  • 1篇王栩生
  • 1篇徐东升
  • 1篇辛煜
  • 1篇唐中华

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响被引量：4
2013年
本文利用朗缪尔静电探针对掺入了电负性气体O2,Cl2,SF6的由4068MHz激发的单射频容性耦合Ar等离子体进行了诊断测量.测量结果表明:随着电负性气体流量的增加,电子能量概率分布函数出现了高能峰,高能峰且有向高能侧漂移的现象;电负性气体掺入Ar等离子体后显著降低了等离子体的电子密度;电子温度随着电负性气体流量比的增加而升高.另外,本文还测量了掺入三种电负性气体后在不同流量比下的混合气体等离子体的电负度α.对实验现象进行了初步的解释.
洪布双苑涛邹帅唐中华徐东升虞一青王栩生辛煜
关键词：电子密度电子温度
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