许伟才
- 作品数：19 被引量：98H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置属于大视场数字成像系统，目的在于解决现有技术存在的探测器尺寸不足和球面镜头成像受限制的问题。本发明包括三组成像系统，每组成像系统包括一个同心球物镜和相应的像面探测器阵列，三组成像系统的...
- 庞武斌贾树强张广许伟才黄玮
- 文献传递
- 关于部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆分析方法被引量：2
- 2012年
- 部分偏振光传播时的光强和偏振态变化情况比较复杂,尤其是当大数值孔径成像时,光束的偏振态还会影响成像质量.本文提出一种用于分析部分偏振光能量传递和偏振态的光线椭圆方法,采用光线椭圆叠加的办法来分析光束在各向同性的均匀介质中传输时能量和偏振态的变化情况,同时直观性好,计算量小.论文最后,对大数值孔径、高像质的齐明透镜系统讨论了入射无偏振光的能量、偏振态变化,以及偏振效应问题.结果表明,大数值孔径使成像光束中TM偏振光强度相对增加,影响成像对比度;提高像方介质的折射率,会改善此种偏振效应问题.
- 刘超岑兆丰李晓彤许伟才尚红波能芬陈立
- 关键词：部分偏振光大数值孔径偏振效应
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置
- 同心球物镜探测器球面阵列视频采集装置属于大视场数字成像系统，目的在于解决现有技术存在的探测器尺寸不足和球面镜头成像受限制的问题。本发明包括三组成像系统，每组成像系统包括一个同心球物镜和相应的像面探测器阵列，三组成像系统的...
- 庞武斌贾树强张广许伟才黄玮
- 文献传递
- 光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析被引量：3
- 2013年
- 研究了光学表面中频误差对杂散光的影响规律,提出使用功率谱密度函数描述表面中频误差,并通过该描述方法进行杂散光分析;同时利用等效光瞳空间频率对表面中频误差进行公差分析。利用以上方法,对工作波长为193nm、数值孔径为0.75的光刻物镜进行元件表面中频公差分析,当要求在2～10μm范围内的杂散光强度占比小于0.5%时,中低频等效光瞳空间频率界限为16,中高频等效光瞳空间频率界限为78。当元件表面功率谱曲线指数取1.5时,功率谱密度系数小于0.06的元件表面满足杂散光要求。结果表明该方法可以有效分析光学系统杂散光和元件表面中频公差。
- 杨旺黄玮许伟才尚红波
- 关键词：杂散光功率谱密度公差分析光刻物镜
- 偏振对光学系统成像质量的影响被引量：8
- 2012年
- 通常情况下,评价光学成像系统像质的几个重要参数,如能量集中度(Strehl比)、分辨率、焦深等,都是以标量衍射理论为基础进行计算和分析的.考虑光波的矢量偏振特性,尤其是在高数值孔径系统中,标量衍射的精度已不能满足精度要求.本文讨论了在采用矢量衍射计算方法基础上,上述成像参数的变化,所讨论系统入瞳面各点为偏振方向一致的线偏光或部分偏光,以便于考察偏振对所述成像参数的影响,通过公式推导和数值计算,得出了由于偏振的影响.系统衍射斑能量极大值变小,像面和偏振平行方向分辨率降低,分辨率出现各向异性,只有系统焦深受偏振影响较小.而这些矢量效应会随着系统数值孔径的提高而愈加明显,因此在分析处理数值孔径较高的光学系统时必须使用矢量衍射方法.最后讨论了轴外点衍射斑的计算.
- 庞武斌岑兆丰李晓彤钱炜尚红波许伟才
- 关键词：偏振光矢量衍射理论成像质量数值孔径
- 投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿被引量：21
- 2011年
- 为满足严格的套刻需求,双远心结构的投影光刻物镜需要选择恰当的元件移动来进行倍率的补偿和调节。提出了一种简单而实用的方法来进行倍率的公差分析。该方法利用商业优化设计软件和有限差分算法计算了多项公差对物镜倍率的敏感程度,同时结合公差对系统波像差的敏感度选择最佳的倍率补偿元件。利用以上方法,对一台双远心、工作波长193nm以及数值孔径0.75的投影光刻物镜进行了倍率的公差分析和补偿器优选。结果显示,系统较好地实现了±50×10-6的倍率调节功能,而系统波像差劣化程度均方根值小于1.5nm。
- 许伟才黄玮杨旺
- 关键词：光学设计倍率公差分析投影光刻物镜
- 高准确度光学系统中材料非均匀性对成像质量的影响被引量：2
- 2013年
- 利用Zernike多项式对用Zygo干涉仪测得的离散材料折射率数据进行了拟合,再使用光线光学的方法评价了系统的成像质量.由于材料折射率分布的无规则性,在对包含非均匀介质的实际光学系统的模拟仿真和优化时,需要考虑选取材料不同部位加工成的透镜会对系统成像质量有不同的影响,而且加工好的透镜在装配过程中,绕着光轴旋转不同的角度同样会影响成像质量.通过计算机模拟的方法预先选取材料的最佳部位以及找到最好的装配位置,从而提高了光学系统的性能.
- 刘洋舟李晓彤岑兆丰许伟才尚红波阮望超
- 关键词：光学设计非均匀光线追迹成像质量
- 新型折反射式连续变焦系统设计被引量：14
- 2011年
- 针对长焦距、折反射式连续变焦望远系统的设计，提出了一种新的光学结构形式。该结构形式将可变光阑放置于球面主反射镜附近，避免了在变焦部分中使用浮动的可变光阑；然后利用二次成像结构和场镜减小变焦组元的径向尺寸，系统变焦部分仅包含变倍组与补偿组，无需前固定组与后固定组，同时无需使用特种光学材料校正二级光谱，极大降低了系统变焦部分的复杂程度。利用该光学结构形式对一台焦距600～3000mm、最大口径300mm、工作在可见光波段的变焦望远系统进行优化设计，该系统在60lp／mm的调制传递函数（MTF）设计值在所有焦距和视场内均大于0．3。设计结果表明该系统像质良好、制造成本低，适用于工作在可见光波段的长焦距、变焦成像光学系统。
- 许伟才黄玮
- 关键词：光学设计二级光谱
- 大视场像方远心离轴三反射镜光学系统设计被引量：7
- 2014年
- 基于三反射镜的三级相差理论,通过自定义优化函数,并使用遗传算法寻找合适的三反射镜光学系统的初始结构参数,利用光学设计软件ZEMAX对初始结构进一步离轴优化,设计出了视场角为18°×0.6°,焦距为1700 mm,入瞳直径为200 m的像方远心离轴三反射镜光学系统。该光学系统无中心遮拦,成像质量接近衍射极限,适用于空间遥感领域。
- 刘军黄玮许伟才徐明飞
- 关键词：光学设计大视场空间光学
- 一种多镜头探测器阵列曲面像面拼接方法
- 一种多镜头探测器阵列曲面像面拼接方法属于大视场数字成像技术领域，目的在于解决现有技术存在的操作复杂、成本高和后期处理难度大的问题。本发明采用如下技术方案：多组像面为曲面的成像镜头通过各自曲面像面上的探测器阵列采集图像，通...
- 黄玮许伟才徐明飞范洪杰贾树强
- 文献传递
