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费龙

作品数：12 被引量：33H指数：3
供职机构：重庆大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇电子电信
  • 3篇机械工程
  • 1篇电气工程

主题

  • 9篇感器
  • 9篇传感
  • 9篇传感器
  • 4篇速度传感器
  • 4篇微机械
  • 4篇加速度
  • 4篇加速度传感器
  • 4篇硅
  • 3篇掩膜
  • 3篇计算机
  • 3篇计算机辅助设...
  • 3篇辅助设计
  • 2篇掩膜版
  • 2篇振动传感
  • 2篇阵列
  • 2篇微机械传感器
  • 2篇微加速度传感...
  • 2篇计算机辅助设...
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇光纤

机构

  • 12篇重庆大学

作者

  • 12篇费龙
  • 9篇温志渝
  • 9篇钟先信
  • 3篇徐涛
  • 2篇高扬
  • 1篇王晓兰
  • 1篇陈愚
  • 1篇刘桂雄
  • 1篇高杨
  • 1篇胡松

传媒

  • 3篇仪器仪表学报
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇传感器技术
  • 2篇半导体光电
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇全国纳米科学...

年份

  • 4篇1996
  • 7篇1995
  • 1篇1994
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微机械传感器计算机辅助设计系统
费龙钟先信
关键词：传感器计算机辅助设计
几种新型集成硅微（型）传感器系统
1996年
介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺．
温志渝费龙胡松钟先信
关键词：微机械技术传感器系统集成光学硅
硅微加速度传感器的现状及研究方向被引量：22
1995年
综述了典型的硅微加速度传感器的原理、结构和特性，分析了硅微加速度传感器中的几项关键技术和研究方向。
费龙钟先信温志渝高扬
关键词：传感器加速度
微机械传感器计算机辅助设计系统被引量：1
1995年
微机械传感器计算机辅助设计已成为微机械传感器研制中的必要手段。本文介绍了机械微传感器计算机辅助设计系统的结构和特点．并以一种特殊的硅微加速度传感器设计为例，论述了有关的技术问题。
费龙钟先信温志渝徐涛
关键词：微机械传感器计算机辅助设计敏感元件微机械结构传感器阵列
新型差动式集成硅微声传感器被引量：1
1996年
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能有效的抑制检测过程中的多种干扰。本文详述了该传感器制造过程，并进行了传感器的特性实验。实验表明，采用该集成化结构设计的硅微声传感器，具有高的Ｑ值、高的信噪比及很强的抗干扰能力。
徐涛钟先信温志渝费龙
关键词：光纤端面差动式掩膜版硅微结构频谱分析硅微传感器
集成硅微悬臂梁融合式传感器制造技术被引量：5
1995年
简要地描述了以各种微结构的硅悬臂梁作为敏感元件构成的不同用途的新型融合式传感器及其列阵；介绍了硅微悬臂梁融合式传感器的设计和制造工艺；对笔者正在研究的硅微悬臂梁与光纤组合式列阵感器作了初步的报道。研究结果表明这是一种很有前途的技术。
温志渝费龙钟先信胡松王晓兰
关键词：微细加工技术
硅多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版的计算机辅助设计
1996年
研究了硅的多次掩膜各向异性腐蚀过程，提出了多次掩膜各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计的方法。
费龙徐涛温志渝高扬
关键词：各向异性腐蚀掩膜版计算机辅助设计微结构
利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度
1995年
为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度,曾采取许多办法,但收效甚微,为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.
费龙钟先信温志渝高杨
关键词：加速度传感器灵敏度
集成硅微机械光压力传感器被引量：4
1995年
介绍了一种新颖的集成硅微机械光压力传感器的结构、工作原理、制造工艺和实验结果。该传感器是利用半导体集成电路微细加工技术和各向异性腐蚀相结合的方法，将传输、获取信息的光波导，敏感弹性硅膜和光电探测器集成在一块三维硅基片上得到的。它具有灵敏度高、抗干扰能力强、自身无需电源、防爆、成本低和可靠性高等优点。
温志渝费龙
关键词：压力传感器硅微机械硅膜各向异性腐蚀
集成微机电阵列振动传感频谱分析技术的研究
该文详细分析了阵列传感技术的作用、特点和现状,指出了阵列传感技术研究的必要性和重要性,并在此基础上研究了阵列传感技术基础理论,研究了微机械阵列振动传感频谱分析系统,在中国首次设计制作了机电一体化的硅基压阻式加速度传感器阵...
费龙
关键词：加速度传感器焊点
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