您的位置： 专家智库 > >

郑剑铭

作品数：7 被引量：13H指数：2
供职机构：厦门大学更多>>
发文基金：福建省自然科学基金福建省科技计划重点项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 3篇悬臂
  • 3篇悬臂梁
  • 2篇电极
  • 2篇悬臂式
  • 2篇陀螺
  • 2篇陀螺仪
  • 2篇微机电系统
  • 2篇无接触
  • 2篇机电系统
  • 2篇MEMS
  • 2篇电系统
  • 1篇电镀
  • 1篇信号
  • 1篇英文
  • 1篇弱信号
  • 1篇扫描隧道显微...
  • 1篇微机器人
  • 1篇微弱信号
  • 1篇微卫星
  • 1篇机器人

机构

  • 7篇厦门大学

作者

  • 7篇孙道恒
  • 7篇郑剑铭
  • 7篇王明亮
  • 2篇张玉德
  • 2篇刘益芳
  • 2篇李文望
  • 1篇王凌云
  • 1篇王艳华

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇厦门大学学报...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇机电技术

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2005
  • 3篇2004
  • 2篇2003
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
用AZ4620制作微电镀模的工艺研究(英文)被引量：2
2004年
介绍了利用AZ4620光刻胶制作截面为5μm×5μm微电镀模的工艺流程,详细说明了工艺流程中影响实验结果的实验参数以及实验参数的优化方法,并用实验结果说明了应该避免的实验误区。最后根据优化后的参数制作出满足课题需要的实验结果。
王明亮郑剑铭孙道恒
关键词：光刻悬臂梁
微尖的两种制作工艺
2004年
描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很有潜力的新型检测方式,解决了检测的灵敏度问题。
王明亮王艳华郑剑铭孙道恒
关键词：各向异性电镀
悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构
涉及一种采用悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构。设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板；悬臂梁由前后不同截面的两段组成，宽截面的后段梁的一端接基座，驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧；控制电极与检测电极设于后段...
孙道恒王明亮李文望刘益芳郑剑铭
文献传递
微机械隧道陀螺仪中微弱信号的检测技术被引量：9
2004年
针对微机械隧道陀螺仪输出信号的特点,设计出陀螺仪隧道电流的检测及校准电路.同时从理论上对电路进行误差分析,并对电路的实际安装技术进行了讨论.最后通过实际电路验证了该设计的可行性.
郑剑铭王凌云王明亮孙道恒
关键词：微弱信号惯性传感器扫描隧道显微镜
微机电系统(MEMS)的研究进展
孙道恒王明亮郑剑铭张玉德
文献传递
悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构
涉及一种采用悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构。设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板；悬臂梁由前后不同截面的两段组成，宽截面的后段梁的一端接基座，驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧；控制电极与检测电极设于后段...
孙道恒王明亮李文望刘益芳郑剑铭
文献传递
微机电系统(MEMS)的研究进展被引量：2
2003年
孙道恒王明亮郑剑铭张玉德
关键词：微机电系统MEMS微机器人微卫星
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0