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郭昕

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京师范大学化学学院更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇抗蚀剂
  • 1篇光致
  • 1篇光致抗蚀剂
  • 1篇海松
  • 1篇丙烯
  • 1篇丙烯海松酸

机构

  • 1篇北京师范大学

作者

  • 1篇郭昕
  • 1篇王力元
  • 1篇褚战星

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型193nm正型光致抗蚀剂研究
1 简介由二乙烯基醚化合物与成膜树脂、光产酸剂等组成的正型光致抗蚀剂已有一些报道 ,这些二乙烯基醚化合物包括芳香的和脂肪的二乙烯基醚,成膜树脂包括酚醛树脂和含羧基的甲基丙烯酸酯及其衍生物的共聚物,其成像原理如下:
王力元郭昕褚战星
关键词：丙烯海松酸光致抗蚀剂
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