韩励想
- 作品数:13 被引量:8H指数:2
- 供职机构:东莞深圳清华大学研究院创新中心更多>>
- 发文基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目深圳市基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:核科学技术理学电子电信机械工程更多>>
- 双面硅多条探测器的测试被引量:4
- 2011年
- 介绍了由中国科学院近代物理研究所和北京大学微电子研究院联合研制的双面硅多条探测器的初步测试过程及测试结果。测试内容包括:探测器的电特性、能量分辨率、二维能谱、条间串扰(crosstalk)。在-25 V全耗尽偏压下,各条的反向漏电流均小于10 nA,对于5.486 MeV的α粒子,正面各条的能力分辨率在1.5%左右,条间串扰在6%左右;背面各条能量分辨率稍差,在3%左右,其条间串扰在1%左右。同时对进口的Micron BB1直流耦合单边读出的双面硅条探测器做了相同测试,并进行了性能对比。
- 李占奎巩伟谭继廉魏计房王柱生韩励想田大宇于民王金延张录
- 关键词:电性能能量分辨率
- 双面二维硅微条探测器的沾污失效分析及修复被引量:1
- 2010年
- 硅微条探测器通过微电子工艺制作,易因沾污导致性能下降甚至失效;裸露的键合引线,也易因机械力形成隐性或显性失效。对上述现象的研究可用于修复、维护探测器并在设计和工艺流程中改进其性能。本文通过光学、电气手段分析其结构和制作工艺流程,根据沾污性质在不同条件下清洗探测器,中测后根据芯片图形、封装方式和电气要求修复探测器,最后采用同位素α能谱测试修复效果。对一块沾污后失效(无法加载偏压)的硅微条清洗后在大气环境,N面接地,P面加载负偏压条件下进行了测试,结果显示:170 V全耗尽,平均漏电流2.94μA,5.486 MeV的α峰能量分辨率约1.28%。失效键合所在条的另一面各条能谱观测到假峰,键合修复后消除。因沾污失效的硅微条探测器经过合适的清洗、修复,部分可以恢复性能,但清洗对表面和结构有损伤,须谨慎。另外,键合失效后,因信号不能引出导致的电荷积累会通过电容效应影响其它灵敏区。文章提示,探测器应存放于洁净,恒温,低湿度,避光,避强电磁干扰的环境,以提高能量和位置分辨率,并增加工作稳定性,延长使用寿命。
- 韩励想李占奎鲁皖胡钧杨彦云王柱生
- 关键词:半导体探测器沾污
- ^(238)U(~9Be,5n)^(242)Cm熔合蒸发反应激发函数测量(英文)
- 2017年
- 第一次测量到^(238)U(~9Be,5n)^(242)Cm熔合蒸发反应的激发函数。通过使用叠层靶,在不改变束流能量的条件下,在线获得20个能量点下的实验数据。利用蒸发余核^(242)Cm的半衰期较长,且衰变模式是α衰变的特点,用离线测量α放射性的方法得到目标核产额。实验最大截面约1 mb,激发函数曲线的形态和峰值所在的能量位置与现有的理论模型的计算结果一致。激发函数的实验数据对选择和优化理论模型,推动超铀核区核物理研究具有重要的意义。
- 滑伟张玉虎周小红G.de FranceD.L.BalabanskiG.Georgiev郭应祥马飞雷祥国柳敏良李广顺郭松强赟华韩励想袁岑溪
- 关键词:激发函数Α衰变
- 大功率电子加速器高压发生器的性能分析被引量:1
- 2009年
- 介绍了辐射加工用低能大功率电子加速器高压发生器的构成和性能,并确定了系统电路模型的各项参数;利用Matlab软件模拟其稳定工作状态和事故工作状态下的特性,对于高压电极对地击穿,研究了其瞬间电压沿级联的分布,据此对发生器作部分调整,提高了设备的性能;同时对层间击穿的保护提出改进措施,为加速器的调试提供参考。
- 曹树春袁平苏雅龙李中平张子民韩励想
- 关键词:电子加速器高压发生器建模仿真
- 化合物半导体及金刚石探测器的研制进展
- 本文简要地介绍了研制的化合物半导体砷化镓(GaAs)、碲化镉(CdTe)、碲锌镉(CdZnTe)、碘化汞(HgI2)、金刚石(chemical-vapor deposited)探测器,材料的性能、探测器的性能用途及其进展...
- 王柱生李占奎李海霞韩励想鲍志勤祖凯玲
- 关键词:性能表征
- 文献传递
- 高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作
- 2015年
- 通过微电子机械技术(MEMS)在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的步进投影式拼接光刻,适合石英基材的专用等离子耦合刻蚀(ICP)干法刻蚀技术,特殊的物理清洗方法,以及相关的多项辅助工艺。透镜理想面形横截面曲线为分段抛物线,每一片由23个柱状结构单元周期横向排列构成,采用等深度不等宽度的4台阶结构拟合,单元宽度约为2.966mm。在4in(10.16cm)圆片上,获得了单片尺寸为68mm×68mm的方形透镜。采用接触式台阶仪,扫描电子显微镜(SEM),高倍光学显微镜等方法进行不同阶段检测。结果显示:台阶平面精度为0.4μm,垂直精度为30nm,有非常好的立墙陡直度和刻蚀均匀性。此工艺方案可实现小规模批量生产,成本适中,可以直接用于制作6in(15.24cm)以上同等级要求的石英透镜,经适当改进也可用于蓝宝石等基底材料的制作。
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- 关键词:微电子工艺光刻全息透镜
- 用于半导体探测器研制的数字影像显微系统被引量:2
- 2009年
- 光学显微检测在半导体探测器研制的多个环节具有重要意义。利用较低价单元、部件组装了一套数字影像光学显微系统,性能与国外中档产品相当,性价比卓越。该系统拥有微机控制的高清晰数字摄影装置,配置大屏幕监视器,搭载高倍干系物镜,分辨率达到0.2μm,可以进行明暗场、偏光、干涉观测。它可以方便的用于缺陷、沾污控制,图形检测,表面光洁度检验,材料鉴定等方面,还可用于测试、封装、修理等精细操作。通过观察焊点的表面形貌,钎料合金的显微结构,可以鉴定焊点质量。如果结合多光束干涉技术可用于表面起伏的精细测量。论文叙述了该系统在半导体探测器研制上的应用,详述了其建造细节。
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- 关键词:显微镜数码相机
- 像素CdZnTe核辐射探测器的进展
- 本文简要地介绍了我们采用国产CdZnTe单晶材料制备了两种不同规格的(阵列为:3×3、5×5而像素为2.5×2.5×2.5mm33×3×2.0mm3.)CdZnTe像素核辐射探测器,探测器的制作工艺及初步测试结果。能谱表...
- 王柱生肖国青李占奎谭继廉赵永涛韩励想李海霞鲍志勤祖凯玲王秀华张宏斌李舂艳魏计房巩伟戎欣娟卢子伟
- 关键词:碲锌镉探测器像素分辨率
- 文献传递
- 双面Si条两维位置灵敏探测器的研制
- 介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器——双面硅条两位位置灵敏探测器的结构,工作原理,制备工艺及测试结果.该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和背面都被分为相等宽度的16条(每条的面积为50...
- 谭继廉卢子伟张宏斌王柱生祖凯玲鲍志勤李春艳龚伟田大宇于民王金延靳根明张录李占奎徐瑚珊李海霞韩励想魏计房戎欣娟王秀华
- 关键词:反向漏电流
- 硅多条探测器的研制及应用
- 位置灵敏探测器对于高能物理和核物理都是十分重要的。在核反应中,为了得到核-核碰撞过程及其动力学信息,必须知道出射粒子的角分布或者出射粒子的角关联。例如在核反应中,弹性散射的角分布直接反映了核势的大小和角动量的贡献。上述的...
- 谭继廉卢子伟靳根明李占奎徐瑚珊李海霞韩励想魏计房戎欣娟王秀华
- 关键词:半导体