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马晓康

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：吉林大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元分析
  • 1篇碳纳米管
  • 1篇平面型
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏特性
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇热辐射
  • 1篇热氧化
  • 1篇微传感器
  • 1篇微热板
  • 1篇梁型
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米管
  • 1篇划片
  • 1篇硅基

机构

  • 3篇吉林大学
  • 1篇河南汉威电子...

作者

  • 3篇马晓康
  • 2篇张彤
  • 1篇范会涛
  • 1篇王蕊
  • 1篇王丽杰
  • 1篇杨卉
  • 1篇费腾
  • 1篇贺媛
  • 1篇穆仁
  • 1篇张小水
  • 1篇丛慧

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
硅基共平面微型气体传感器芯片及制备微型气体传感器
本发明属于微纳电子器件技术领域，具体涉及一种建立在硅基底上、加热电极和信号电极共居于同一介质平面上的硅基共平面低功耗微型气体传感器芯片及用于制备微型气体传感器，该结构传感器可实现在较低温度下工作。本发明所述的微型气体传感...
张彤马晓康费腾王丽杰王蕊贺媛
文献传递
硅基微结构气体传感器的设计及特性研究
科技的发展和工业化的进步，使得便携式智能设备普及开来。同时，不断有更多特殊功能MEMS器件被集成到智能设备上来满足人们各种各样的需求。MEMS气体传感器正是这样一种用来检测气体成分信息的装置。 本文首先介绍了近些年MEM...
马晓康
关键词：微热板Α-FE2O3气体传感器有限元分析碳纳米管
文献传递
微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究被引量：3
2011年
基于"相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同"这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上,确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性。该方法可进一步推广应用到其他微结构或者MEMS器件的表面温度的测量。
马晓康丛慧穆仁范会涛杨卉祈明锋张小水张彤
关键词：非接触测温热辐射
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