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高超群

作品数：43 被引量：23H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 36篇专利
  • 7篇期刊文章

领域

  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇电子电信
  • 2篇机械工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇文化科学

主题

  • 19篇红外
  • 14篇气敏
  • 14篇气敏传感器
  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 11篇红外光
  • 10篇硅片
  • 9篇阵列
  • 8篇谱式
  • 8篇面阵
  • 8篇红外成像
  • 8篇红外吸收
  • 8篇非制冷
  • 8篇非制冷红外
  • 8篇非制冷红外成...
  • 7篇氧化碳
  • 7篇平面阵
  • 7篇平面阵列
  • 7篇二氧化碳

机构

  • 43篇中国科学院微...
  • 1篇山东大学

作者

  • 43篇高超群
  • 34篇景玉鹏
  • 12篇陈大鹏
  • 11篇焦斌斌
  • 10篇刘茂哲
  • 9篇叶甜春
  • 9篇尚海平
  • 9篇刘瑞文
  • 8篇惠瑜
  • 7篇李全宝
  • 5篇王磊
  • 4篇罗小光
  • 1篇石莎莉
  • 1篇孔延梅
  • 1篇李志刚
  • 1篇李超波
  • 1篇李金宝
  • 1篇欧毅
  • 1篇杨锴

传媒

  • 3篇微纳电子技术
  • 1篇Journa...
  • 1篇物理学报
  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 5篇2014
  • 7篇2013
  • 2篇2012
  • 11篇2011
  • 10篇2010
  • 4篇2009
  • 4篇2008
共 43 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统
本实用新型公开了一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统，包括：氟化氢源、液态二氧化碳源、第一流量控制阀、第二流量控制阀、加热器、高压泵、高压密闭腔室(5)、针型阀(8)、溢出腔(9)、碱性溶液(10)、过滤纯化装置(11)和冷凝...
王磊惠瑜高超群景玉鹏
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基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器
本发明公开了一种基于阵列波导分光的红外光谱式MEMS气敏传感器，利用气体的红外透射谱确定气体的种类和浓度，该传感器由集成在硅衬底上的红外热光源(1)、光子晶体波导阵列分光器(2)、测量气室(3)、测量气室红外检测阵列(4...
景玉鹏高超群
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一种通过刻蚀硅牺牲层释放MEMS结构的系统及方法
本发明公开了一种通过刻蚀硅牺牲层释放MEMS结构的系统及方法，该方法利用二氟化氙作为刻蚀反应气体，超临界二氧化碳作为运载气体对硅牺牲层进行释放。二氧化碳利用其超临界态特有的性质使得二氟化氙对硅的刻蚀更加均匀，腐蚀表面的光...
王磊惠瑜高超群景玉鹏
一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器
本发明实施例提供一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，包括透明衬底（1）以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底（1）上的多个微悬臂梁单元（2）；所述透明衬底（1）对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透...
高超群焦斌斌刘瑞文尚海平陈大鹏叶甜春
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多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器
本发明公开了一种多通道滤波阵列MEMS光谱式气敏传感器，通过分析待测气体的红外透射谱，确定所测气体的种类和浓度，该传感器由制作在硅衬底上的光源(1)、气室(2)、一维光子晶体滤波阵列(3)、红外光强检测阵列(4)构成，其...
高超群景玉鹏
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透明衬底探测器及其制造方法
一种透明衬底探测单元，包括：透明衬底；与透明衬底相对的吸收层，吸收层的材料是对预定波段射线吸收率高的材料；在吸收层的相对于透明衬底的一侧上形成的反射层，反射层的材料是不能透过可见光的材料，并且其中，反射层的材料的热膨胀系...
焦斌斌尚海平高超群刘瑞文陈大鹏
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一种超临界水射流清洗设备
本发明公开了一种超临界水射流清洗设备，用于硅片无损清洗。该设备包括超临界水射流生成装置、清洗室和清洗产物回收处理装置。本发明中超临界水以射流形式到达硅片，并在硅片表面形成超临界水恒温恒压微环境，利用超临界水的物理及化学性...
高超群景玉鹏
绿色二氧化碳超临界流体半导体清洗设备
本发明公开了一种二氧化碳超临界流体半导体清洗设备，用于半导体硅片的无水清洗。该设备包括进行超临界流体清洗和超临界干燥的主工作室、分离二氧化碳和清洗废液的分离室、存放增强清洗效果的清洗剂及助溶剂的暂存罐和对二氧化碳进行压缩...
景玉鹏高超群
一种单侧硅片湿法腐蚀设备
本发明公开了一种单侧硅片湿法腐蚀设备，该设备包括供液装置(1)、腐蚀室(2)和余液处理装置(3)，其中，供液装置(1)将高温碱性腐蚀液喷到腐蚀室(2)中真空吸盘上旋转的硅片上，对硅片进行反应速率和表面光洁度可控的各向异性...
高超群景玉鹏
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一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器
本发明实施例提供了一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，包括：透明衬底、具有高热导系数的衬底传热结构和微悬臂梁单元，其中，所述微悬臂梁单元以嵌套的方式通过所述衬底传热结构平铺于所述透明衬底上；所述微悬臂梁单元包括热形变结构...
高超群焦斌斌刘瑞文尚海平陈大鹏叶甜春
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