- 一种硅基长波红外光波导及其制备方法
- 本发明公开了一种硅基长波红外光波导及其制备方法，本发明是在普通硅片上制备出波导结构，再通过热氧化法制备出二氧化硅掩膜，然后进行二次光刻，在波导的两侧开出窗口，KOH溶液进行湿法腐蚀，通过选择合适的浓度及温度实现不同晶面的...
- 李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
- 基于slot波导的硅基长波红外偏振无关定向耦合器分析
- 本文在介绍了硅基长波长光波导器件的基础上，根据等比例放大原理分析和设计了适合与10.6微米的硅基slot波导，以及构成偏振无关定向耦合器件的性能。
- 李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
- 基于注氧技术的十字狭缝波导的制备方法
- 本发明公开了一种基于注氧技术的十字狭缝波导的制备方法，包括以下步骤：在绝缘体上硅片的顶层硅上形成第一SiO<Sub>2</Sub>层后使第一SiO<Sub>2</Sub>层的两侧被去除；将绝缘体上硅片的没有第一SiO<S...
- 王皖君魏玉欣赵勇杨建义郝寅雷周强王明华江晓清
- 文献传递
- 基于硅材料的中长红外波段的波导器件研究
- 硅基光子学近年来受到了广泛关注,基于硅材料的光互连也备受瞩目,硅材料可以与微电子成熟的CMOS工艺相兼容以及SOI材料的优势,使得大规模生产成为了可能。然而,目前大部分研究主要集中在近红外波段1.55μm的通讯波段,实际...
- 江晓清李国懿魏玉欣杨建义王明华
- 关键词：光波导器件硅材料集成光子学
- 文献传递
- 基于slot波导的硅基长波红外偏振无关定向耦合器分析被引量：3
- 2011年
- 硅基长波红外集成光电子器件是集成光学发展的一个新兴领域.阐述了利用等比例放大原理设计该波段下的slot波导的思路,分析了波导的限制因子、偏振特性等性质,并提出了工作波长为10.6μm的偏振无关slot波导定向耦合器.
- 李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
- 一种硅基长波红外光波导及其制备方法
- 本发明公开了一种硅基长波红外光波导及其制备方法，本发明是在普通硅片上制备出波导结构，再通过热氧化法制备出二氧化硅掩膜，然后进行二次光刻，在波导的两侧开出窗口，KOH溶液进行湿法腐蚀，通过选择合适的浓度及温度实现不同晶面的...
- 李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
- 文献传递
- 基于注氧技术的十字狭缝波导的制备方法
- 本发明公开了一种基于注氧技术的十字狭缝波导的制备方法，包括以下步骤：在绝缘体上硅片的顶层硅上形成第一SiO<Sub>2</Sub>层后使第一SiO<Sub>2</Sub>层的两侧被去除；将绝缘体上硅片的没有第一SiO<S...
- 王皖君魏玉欣赵勇杨建义郝寅雷周强王明华江晓清
- 硅基光电子器件的性能研究
- 基于硅材料的光电子技术虽然发展历程不长，但近年来已经成为备受关注的新兴领域，被认为是未来实现光互连、光通信的重要发展方向。作为光电转换的关键器件硅基电光调制器是主要的研究器件之一，其啁啾、传输特性与速度等性能都是主要的系...
- 魏玉欣
- 关键词：行波电极测试系统
- 文献传递
- 基于硅材料的中长红外波段的波导器件研究[特邀报告]
- 硅基光子学近年来受到了广泛关注,基于硅材料的光互连也备受瞩目,硅材料可以与微电子成熟的CMOS工艺相兼容以及SOI材料的优势,使得大规模生产成为了可能.然而,目前大部分研究主要集中在近红外波段1.55μm的通讯波段,实际...
- 江晓清李国懿魏玉欣杨建义王明华
- 关键词：光波导器件硅材料集成光子学
- 中长波红外光波导器件发展现状
- 2011年
- 阐述了中长波红外光波导器件的设计理念和用途。在介绍该领域的研究成果和最新进展的基础上,以应用在波长为10.6μm的硅基光波导器件为例介绍了实现低损耗波导的方法。
- 李国熠魏玉欣周强杨建义王明华江晓清
- 关键词：低损耗光波导器件硅基集成光学
