任森
- 作品数：43 被引量：66H指数：5
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程轻工技术与工程更多>>
- 一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路
- 本发明公开了一种用于微机械谐振结构的闭环驱动电路，为一种基于限幅电路7、带通滤波器8、自动增益控制环路9和相位补偿电路12为主要组成的交流自动增益控制闭环自激驱动电路。首先，通过自动增益控制环路9调节环路的增益和通过相位...
- 乔大勇王玉朝任森苑伟政袁广民李小卿
- 硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究
- 基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器，它通过检测物体的固有频率间接测量压力，为准数字信号输出。其精度主要受结构机械特性的影响，因此其抗干扰能力很强，性能稳定。除此之外，硅微谐振式压力传感器...
- 任森
- 关键词：微机电系统谐振压力传感器
- 文献传递
- 硅微机械谐振压力传感器技术发展被引量：20
- 2013年
- 硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感器的分类及工作原理,针对压力敏感膜片与谐振器复合结构和振动膜结构两种主要的芯体结构形式,详细论述硅微机械谐振压力传感器的研究历史、主要研究机构、国内外发展现状以及最新的研究成果,重点根据不同激励与检测方式对各种硅微机械谐振压力传感器的芯体结构进行深入分析比较。在此基础上,总结归纳不同芯体结构及其激励与检测方式的特点,并对硅微机械谐振压力传感器的未来发展趋势进行展望。
- 苑伟政任森邓进军乔大勇
- 关键词：微机械谐振压力传感器谐振器
- 一种基于光纤F-P腔的MEMS传感器及其封装方法
- 本发明公开了一种基于光纤F‑P腔的MEMS传感器及其封装方法，属于光纤传感器技术领域，MEMS传感器包括用于封装敏感芯片的封装外壳，封装外壳远离敏感芯片的一端螺纹连接有螺纹准直器，螺纹准直器位于封装外壳外的一端固设有准直...
- 马志波李若飞王嘉言喜奇苑伟政任森
- 多功能电子鱼漂及其实现方法
- 本发明公开了一种新的多功能电子鱼漂及其实现方法，属于电子领域。该鱼漂包括漂体1和控制盒2，其中漂体1内部集成微电池模块3、微传感器模块4、第一信号采集与处理模块5、第一无线通讯模块6和第一指示灯模块7，控制盒2由电池模块...
- 任森罗剑常杰张星宇苑曦宸何洋吕湘连苑伟政
- 文献传递
- 多功能电子鱼漂
- 本实用新型公开了一种新的多功能电子鱼漂，属于电子领域。该装置包括漂体1和控制盒2两部分，其中漂体1内部集成微电池模块3、微传感器模块4、第一信号采集与处理模块5、第一无线通讯模块6和第一指示灯模块7，控制盒2由电池模块8...
- 任森罗剑常杰张星宇苑曦宸何洋吕湘连苑伟政
- 文献传递
- Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究被引量：2
- 2014年
- 玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。
- 王伟康苑伟政任森邓进军孙小东
- 关键词：湿法腐蚀微机电系统
- 基于MEMS的灵巧蒙皮技术
- 姜澄宇苑伟政马炳和邓进军钟军威刘奎齐勇陈爽王艳姚占朝张承亮任森乔大勇吕湘连何洋
- 本成果是MEMS与飞行器主动流动控制技术结合的多学科交叉前沿技术研究，属于先进制造技术领域。 本成果的灵巧蒙皮技术是一种用于飞行器主动流动控制的微系统及相关MEMS器件技术，使传统蒙皮具有传感、致动和控制等功能，实现飞...
- 关键词：
- 关键词：MEMS蒙皮
- 一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
- 本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
- 苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
- 一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路
- 本发明涉及一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路，属于微机械传感器领域。该电路的跨阻放大器6输出高频调制信号u(t)包含了有用信号，经过高通滤波器7，低频耦合信号被消除，再经过解调器8、低通滤波器9、仪表放大器10得到的...
- 苑伟政孙小东任森王伟康
- 文献传递
