刘军山
- 作品数：188 被引量：165H指数：6
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程理学更多>>
- 一种基于激光重铸物微导能筋的超声封合方法
- 本发明提供一种基于激光重铸物微导能筋的超声封合方法，属于热塑性聚合物微流控芯片超声封合技术领域。在激光加工热塑性聚合物微流控芯片时会在加工出的沟槽边缘产生微凸起结构，利用该结构来进行超声封合的方法。首先利用热压或注塑的方...
- 李经民梁超刘冲孟凡建刘军山王立鼎
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- 一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法
- 本发明一种提高微电铸铸层尺寸精度的方法，属于微制造技术领域，特别涉及微电铸金属模具的尺寸精度的控制方法。该方法包括掩膜版设计和模具制作工序，针对SU－8厚胶、图形密集、复杂的微电铸工艺，设计掩膜版时，在相对较窄的单个或多...
- 刘冲杜立群李苗苗施维枝刘军山梁军生
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- 塑料电泳芯片热键合的试验研究被引量：1
- 2005年
- 塑料电泳芯片具有绝缘性、透光性好、价格便宜、成型容易和批量生产成本低等优点,是一种新型微型分析装置。研究塑料电泳芯片热键合工艺过程和工艺参数,通过试验建立微通道变形与热键合温度、压力、时间和模压工艺参数的关系,由此提出减小微通道变形的方法,对于完善塑料电泳芯片结构设计和制作的基本理论和基本技术具有积极意义。
- 于建群刘军山王立鼎郭丽莎
- 关键词：电泳芯片生物芯片微全分析系统微机电系统微细加工热键合
- 模块式扫描探针显微镜用探针架
- 本发明公开了一种模块式扫描探针显微镜用探针架，包括支架，在支架上有线路板和安装探针的夹持架，所述的线路板与支架之间为插槽式连接，所述的夹持架与支架之间为分体式并夹持架插入支架内，夹持架与支架形成镶嵌结构。本发明的模块式扫...
- 陈莉李克洪刘军山刘冲
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- 一种集成纳米裂纹传感单元的超灵敏柔性电子触须的制造方法
- 一种集成纳米裂纹传感单元的超灵敏柔性电子触须的制造方法，属于触觉传感领域。该方法首先，制作集成纳米裂纹应变传感单元的梁。其次，制作带有固定电极的基板。最后将纳米裂纹应变传感单元与带有固定电极的基板完成键合。本发明制造的柔...
- 刘军山张弛朱一柯吴梦希
- 一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法
- 本发明公开一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。该方法首先，制造石墨烯包覆的镓基合金液滴。其次，依次制作含有固定电极的玻璃盖片、含有微通道的PDMS基片。最后，将玻璃盖片和...
- 刘军山赵欣悦杨圳威谭智广刘泽汉
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- 一种用于多巴胺实时检测的集成微电极的微流控芯片被引量：5
- 2015年
- 设计并制作了一种用于多巴胺实时检测的集成微电极的微流控芯片。芯片由一片聚二甲基硅氧烷（ PDMS）沟道片和一片玻璃电极片组成,在PDMS沟道片上集成了用作细胞培养室的主通道和用于培养基输送的两条侧通道,在玻璃电极片上集成了用于多巴胺实时检测的微电极。为了解决PDMS沟道片与硅模具之间的脱模困难问题,研究了一种新的脱模方法。建立了一种Au-Au-Au三电极体系,表现出了良好的电化学检测性能。以溶解在神经干细胞培养基中的多巴胺为测试样品,对芯片的性能进行了初步研究。多巴胺的检出限为3.92μmol/L,线性检测范围为10-500μmol/L,片间的检测重复精度小于4%。
- 刘军山肖庆龙葛丹张洋洋张文珠徐征刘冲王立鼎
- 关键词：微流控芯片电化学检测多巴胺微电极聚二甲基硅氧烷
- 一种热塑性聚合物多层微流控芯片封合方法
- 一种热塑性聚合物多层微流控芯片封合方法，属于微全分析系统技术领域。首先利用微加工技术在热塑性聚合物基片上制备微通道、连通孔和储液池等结构；然后将改性后的各层基片按层次顺序叠放在一起，使用加热的焊丝在芯片周边焊接，使各层芯...
- 刘冲李经民徐征刘军山丁喜平
- 一种快速响应的纳米裂纹应变传感器
- 2021年
- 为了在聚酰亚胺(polyimide,PI)基底上实现纳米裂纹的图案化,提出了一种利用不同金属薄膜在柔性基底上的延展性差异引导纳米裂纹可控分布的方法,制作出了一种具有快速响应能力的纳米裂纹应变传感器。在PI基底上先溅射了一层铬薄膜,对铬薄膜图形化后再溅射了一层金薄膜,制作了一种PI基底-图形化铬中间层-金薄膜的结构。使用电子动静态万能材料试验机拉伸PI基底,并使用扫描电子显微镜观察表层金薄膜纳米裂纹的产生情况,因为PI基底上的铬薄膜与金薄膜存在明显的延展性差异,金薄膜上的纳米裂纹仅在铬薄膜的存在区域内产生,产生方向与拉伸方向垂直,成功实现了金薄膜上纳米裂纹的可控分布。基于提出的纳米裂纹图案化方法,进一步在PI基底上制作了一种纳米裂纹应变传感器,并对制作的纳米裂纹应变传感器进行了测试。测试结果表明,制作的纳米裂纹应变传感器的响应时间短于16 ms,具备快速响应的能力。
- 宋晓圆刘军山
- 关键词：应变传感器快速响应聚酰亚胺
- 一种三维电铸微结构的制作方法
- 一种三维电铸微结构的制作方法属于微制造技术领域，涉及金属基底微电铸金属器件类，该制作方法包括基底前处理、连接层微电铸型模的制作、微电铸、铜晶种层的制备、镍结构层的制作、微电铸后处理、牺牲层去除工序。在金属基底上，通过2次...
- 杜立群刘冲刘军山朱神渺刘文涛喻立川
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