刘永猛
- 作品数：253 被引量：32H指数：4
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金哈尔滨工业大学科研创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信理学更多>>
- 基于非接触超声的大型高速回转装备贴合面积测量方法
- 本发明提出了基于非接触超声的大型高速回转装备贴合面积测量方法，使激光器发射的脉冲激光通过分光镜和第一透镜照射在第一转子部件的上表面；使光电探测器接收到来自分光镜的脉冲激光；使共焦Fabry‑Perot干涉仪能够接收到第一...
- 孙传智刘恩晓谭久彬刘永猛王晓明
- 基于刚度矢量空间投影极大化的大型高速回转装备测量与神经网络学习调控方法及其装置
- 本发明提出了基于刚度矢量空间投影极大化的大型高速回转装备测量与神经网络学习调控方法及其装置，属于机械装配技术领域。所述方法利用包络滤波原理、二维点集S、最小二乘法和学习神经网络实现大型高速回转装备测量与调控；所述装置包括...
- 刘永猛孙传智谭久彬
- 文献传递
- 双网孔式红外波段双带通光学窗电磁屏蔽结构
- 双网孔式红外波段双带通光学窗电磁屏蔽结构属于多模探测仪器抗电磁干扰领域，由基底、金属薄膜、小谐振圆、大谐振圆为周期单元而构成，其中大谐振圆以60度为周期阵列，小谐振圆圆心位于三个相邻且不共线的大谐振圆圆心构成的正三角形的...
- 刘永猛周子涵谭久彬
- 文献传递
- 双工件台宏微交接系统设计及实验被引量：4
- 2015年
- 为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统。基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并对其锁紧力进行了分析;设计的抓卡装置中的柔性机构包括柔性杠杆及下夹板回复单元,采用有限元方法对其进行了分析。设计了快速抓卡装置的充放气回路;为了保证抓卡装置锁紧时的速度和安全性,气动系统可实现抓卡装置锁紧的3个动态过程,从而完成抓紧装置的缓冲锁紧。最后,搭建了抓卡装置下夹板运动测量实验平台和锁紧力测量实验平台。实验结果表明:抓卡装置下夹板的运动行程大于2 mm,能够保证宏动系统和微动台交接过程的安全性。抓卡装置的开启时间为350 ms,快速缓冲锁紧时间为850ms,可承载的X向驱动力大于700N。该系统满足双工件台工作及换台过程对可靠性和快速性的要求。
- 吴剑威袁勇崔继文刘永猛谭久彬
- 关键词：光刻机
- 基于时频域变换转位角优选的圆轮廓误差分离方法
- 本发明涉及基于时频域变换转位角优选的圆轮廓误差分离方法，属于超精密几何量测量技术领域。包括以下步骤：应用单次转位使得被测件轮廓误差信号在时域产生一定的时延，利用该转位获得的附加信息实现主轴回转误差和被测件轮廓误差的分离。...
- 谭久彬邵春雨刘永猛
- 一种基于五偏置轴径双向测量模型的航空发动机转子不平衡量堆叠方法
- 本发明是一种基于五偏置轴径双向测量模型的航空发动机转子不平衡量堆叠方法。本发明涉及不平衡量测量技术领域，本发明测量偏心误差，确定实际轴向采样角度偏移量表；误差与偏移误差耦合，导致采样角度发生偏移，确定轴向实际角度偏移量；...
- 孙传智郝志勇谭久彬刘永猛
- 基于卷积神经网络的大型高速回转装备多级零部件初始不平衡量逐级堆叠方法
- 本发明提出了基于卷积神经网络的大型高速回转装备多级零部件初始不平衡量逐级堆叠方法和装置，属于机械装配技术领域。所述方法包括步首先分别获取n级转子装配后由各级转子定位误差引起的偏心误差传递矩阵、装配后各级转子定位误差引起的...
- 刘永猛孙传智谭久彬胡明
- 文献传递
- 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置
- 基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术，该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个随动防转机构；在双工件台回转交换过程中，回转转接台抓卡住双工件台，绕基台中心回转，实现曝光工位和预处理工位...
- 谭久彬刘永猛崔继文金国良
- 基于平面光栅测量的动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
- 基于平面光栅测量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用平面光栅对工件台位置进行...
- 吴剑威刘永猛谭久彬
- 文献传递
- 基于差分谱判定奇异值分解的圆度误差分离信号降噪方法
- 基于差分谱判定奇异值分解的圆度误差分离信号降噪方法，它涉及一种圆度误差分离信号降噪方法。本发明为了解决随机噪声混入圆度误差分离过程传感器采集信号中，与要分离的圆轮廓误差及主轴回转误差耦合在一起，影响圆度误差分离精度的问题...
- 刘永猛 邵春雨谭久彬 于海旭
