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夏曼

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子器件
  • 1篇亚微米
  • 1篇真空微电子
  • 1篇真空微电子器...
  • 1篇微电子器件
  • 1篇微米

机构

  • 1篇河北半导体研...

作者

  • 1篇夏曼
  • 1篇赵彤

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
亚微米门极孔径VMED
1994年
低电压下工作的场发射真空电子器件，要求尖锐的发射极锥尖和较小的发射极与阳极间距，因此要求首先制作出很小的门极孔径。采用接触曝光、金属剥离、氧化削尖等方法的结合，探索了几种制造具有亚微米级场发射阵列阴极栅孔ＶＭＥＤ的工艺途径。
夏曼赵彤
关键词：真空微电子器件
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