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孙飞

作品数:8 被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 3篇调制器
  • 2篇电光
  • 2篇电光调制
  • 2篇电光调制器
  • 2篇调制
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇套刻
  • 2篇套刻精度
  • 2篇自对准
  • 2篇微电子
  • 2篇微机械
  • 2篇微机械系统
  • 2篇刻蚀
  • 2篇各向异性刻蚀
  • 2篇光电
  • 2篇光电集成
  • 2篇光调制
  • 2篇光调制器
  • 2篇光开关

机构

  • 8篇中国科学院

作者

  • 8篇孙飞
  • 7篇余金中
  • 6篇陈少武
  • 1篇李艳萍
  • 1篇王启明

传媒

  • 1篇物理
  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2008
  • 3篇2007
  • 2篇2006
  • 2篇2005
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
硅基光电集成器件研究进展被引量:3
2005年
随着器件结构与制作工艺的不断创新与完善 ,硅基发光器件已经可以实现室温下的有效工作 ,外量子效率可达到 0 .1% ;低功耗的硅基高速调制器件的调制速率达到 1GHz以上 ;而硅基光探测器对 130 0nm与 15 5 0nm波长的探测响应度也已分别达到了 0 .16mA/W和 0 .0 8mA/W .文章对硅基光电器件的研究进展情况进行了概述 。
孙飞余金中
关键词:硅基响应度调制器外量子效率光电集成器件GH
一种弯曲辅助型的高效电光调制器
一种弯曲辅助型的高效电光调制器,包括依次相光滑连接的一输入波导、一调制波导及一输出波导,其特征在于,其中所述的调制波导为弯曲结构,其是利用材料的等离子色散效应实现光场的强度调制。适用于光通讯系统中的光电集成、光信号处理等...
孙飞余金中陈少武
文献传递
不同结构SOI交叉波导的损耗及串扰特性研究(英文)
2006年
利用高阶Pade近似的2D-BPM算法,对具有不同弯曲半径及交叉角度的SOI弯曲交叉波导的传输特性进行了模拟、分析和深入研究,发现交叉波导的串扰随弯曲半径及交叉角度增大而减小的规律.在此基础上,对由正弦弯曲、余弦弯曲以及圆弧弯曲三种弯曲波导构成的SOI交叉波导的损耗及串扰特性进行了分析比较.结果表明,由正弦弯曲构成的交叉波导传输损耗最小且串扰最小.
孙飞陈少武余金中
关键词:导波光学SOI交叉波导弯曲波导
一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺
本发明涉及光通讯系统技术领域,特别是一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺。包含以下步骤:(1)生成第一掩模层;(2)刻蚀形成台阶结构;(3)生成第二掩模层;(4)各向异性刻蚀第二掩模层;(5)形成掺杂区。在该自对准掺杂工艺...
孙飞余金中陈少武
文献传递
一种非对称马赫泽德干涉仪及其设计方法
本发明涉及光通讯系统中的光交叉互联、光信号处理技术领域,特别是一种非对称马赫泽德干涉仪及其设计方法。该结构所包含两个调制臂的结构参数非完全一致,由于两者的非一致使得两臂之间存在光程差。通过调节两臂的截面尺寸、长度、折射率...
孙飞余金中陈少武
文献传递
SOI电光型光开关/调制器的设计、制备和特性
光交叉连接(OXC)和光上下路复用(OADM)模块是构成全光网的核心器件,而光开关是这两种模块的基本构成单元,因此它们在全光网中起着不可替代的作用。而在光互连领域,光开关及光调制器也起着极其关键的作用。由于对信息传递、处...
孙飞
关键词:电光开关电光调制器多模干涉耦合器定向耦合器集成光学
一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺
本发明涉及光通讯系统技术领域,特别是一种适用于台阶结构的自对准掺杂工艺。包含以下步骤:(1)生成第一掩模层;(2)刻蚀形成台阶结构;(3)生成第二掩模层;(4)各向异性刻蚀第二掩模层;(5)形成掺杂区。在所述自对准工艺中...
孙飞余金中陈少武
文献传递
大规模SOI光波导光开关阵列集成技术
余金中陈少武王启明李艳萍孙飞
该项目为研究性能优异的光开关,它是实现高速大容量全光网的首要问题之一。该项目在国际上首次将模斑变换器和微型反射镜集成到SOI光开关阵列中,首次研制成功了集成度为8×8和16×16 的SOI光波导开关阵列,其综合技术指标在...
关键词:
关键词:SOI光波导光开关
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