宋国瑞
- 作品数：9 被引量：5H指数：2
- 供职机构：华南理工大学电子与信息学院电子与通信工程系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 激光化学汽相沉积球面微透镜的研究
- 1995年
- 本文介绍了一种新颖的利用激光化学汽相沉积（ＬＣＶ）球面微透镜的技术。我们建立了一套ＬＣＶＤ的实验装置，用该装置在平面石英玻璃衬底上，成功地沉积生成了平凸型氨化硅球面微透镜。同时，还对沉积成的微透镜的参量进行了测试。在实验中还摸索了ＬＣＶＤ的沉积工艺。实验结果表明，通过控制源气体的化学配比与浓度，调节激光功率与衬底上的聚焦激光光斑尺寸，选择沉积时间，可以获得不同直径、透明、表面光滑的平凸型氮化硅球面微透镜。
- 姚惠贞宋国瑞蒋中钢
- 关键词：化学汽相沉积微透镜激光
- 红外激光光声光谱检测范围扩展的研究
- 1992年
- 本文对红外激光光声光谱检测范围扩展进行了研究。测试系统采用了 DNP 色谱柱,设计了可通过试样气流的可加热亥姆霍兹共振光声池,采用了两只光声池串联差分与锁相放大的办法以减小本底噪声。实验对含有乙酸乙酯和乙酸丁酯有机化合物的试样进行了分析,获得了光声色谱图。实验结果表明,当光声池前连色谱柱,即可检测含重分子量有机化合物的混合物,扩大了激光光声光谱的检测范围。
- 宋国瑞姚惠贞刘志国
- 关键词：红外激光器光声光谱法色谱法
- 透射式负电子亲和势光电阴极基片的无损检测
- 1991年
- 本文对用作透射式负电子亲和势光电阴极的Ⅲ—V族半导体基片的无损检测进行了研究。建立了一套带微机处理的高信噪比的激光荧光测试系统,测试了基片的发射层GaAs的掺杂浓度、过渡层Gal_(-x)Al_xAs的组分X值及沿表面X值的均匀性、高X值的测量等。实验结果表明,激光荧光检测为Ⅲ—V族半导体材料的研究提供了一种快速的非破坏性的检测方法,对研究透射式负电子亲和势光电阴极具有重要意义。
- 姚惠贞宋国瑞董红兵
- 关键词：光电阴极无损检测负电子亲和势
- 激光荧光微计算机测试系统及应用
- 1992年
- 本文介绍了利用IBM微计算机及单片机进行数据采集、处理与控制的激光荧光测试系统,实现了测试过程的自动化。用此系统对Ⅲ-Ⅴ族半导体材料进行了测试,并自动打印出所需的光谱数据,还研究了沿试样表面组分x值的均匀度。实验证明,该系统不仅效率高,还改善了信噪比。
- 宋国瑞姚惠贞董红兵
- 关键词：激光荧光微机测试系统
- 激光化学汽相沉积微透镜的分析
- 1997年
- 本文介绍了用激光化学汽相沉积(LCVD)球面微透镜的技术。首先对用LCVD法获得球面微透镜进行了理论分析,并用微计算机分析了在实验条件下,TEM_(00)模CO_2激光照射石英玻璃衬底在其表面产生的温度场,分析了在一定沉积条件下的微透镜厚度剖面形状,同时还用微计算机分析了平行光入射微透镜时的光学聚焦特性。分析与实践结果表明,只要适当地控制和调节沉积工艺,便可获得良好光学特性的氮化硅球面微透镜。
- 宋国瑞姚惠贞
- 关键词：激光化学汽相沉积微透镜
- 激光化学汽相淀积薄膜微透镜的设计与实践被引量：1
- 1996年
- 本文介绍了采用激光化学汽相淀积（LCVD）技术淀积氮化硅薄膜微透镜的系统与工艺的设计。实践表明，按要求建立了LCVD的实验装置后，只要适当控制源气体的化学配比与浓度，调节激光功率与衬底上的光斑尺寸，选择淀积时间，就可以淀积出不同直径、透明、表面光滑的氯化硅薄膜微透镜。
- 宋国瑞姚惠贞兰祝刚
- 关键词：激光化学汽相淀积微透镜集成光学器件
- 平凸型氮化硅球面微透镜的研究
- 1997年
- 介绍了用激光化学汽相沉积（ＬＣＶＤ）球面微透镜的技术。首先对激光化学汽相沉积法获得球面微透镜进行了理论分析，并用计算机分析了在一定沉积条件下的微透镜厚度剖面形状及光学聚焦特性。其后介绍了激光化学汽相沉积的实验装置，用该装置在平面石英玻璃衬底上，制出了平凸型氮化硅球面微透镜，并对其参量进行了测量。实验中还摸索了激光化学汽相沉积的沉积工艺。实验结果表明，通过控制源气体的化学配比与浓度，调节激光功率与衬底上的光斑尺寸，选择沉积时间，可以获得不同直径、透明。
- 宋国瑞姚惠贞
- 关键词：激光化学汽相沉积微透镜光学透镜
- LCVD法沉积Si_3N_4薄膜微透镜的研究被引量：2
- 1997年
- 介绍了一种利用激光化学气相沉积（LCVD）技术，在平面石英玻璃衬底上沉积平凸形Si3N4球面介质膜用作微透镜，包括LCVD的实验装置及其沉积工艺、实验结果表明，只要适当控制源气体的化学配比与浓度，调节激光功率与衬底上的聚焦激光光斑尺寸，选择适当的沉积时间，就可以获得不同直径、透明、表面光滑的Si3N4球面介质膜，用作微透镜。
- 宋国瑞兰祝刚姚惠贞
- 关键词：LCVD微透镜氮化硅
- 激光热解沉积微透镜中衬底温度场的研究被引量：2
- 1994年
- 激光化学汽相沉积（ＬＣＶＤ）能在激光波长级区域内实现选择性沉积，再利用高斯光束的特性，可以实现在石英衬底上沉积球形剖面介质膜用作做透镜。其沉积生成形状与沉积速率有关，而沉积速率又与衬底温度及其分布有关。本文通过数学推导与计算机处理，详细描述了激光诱导石英衬底的温度分布，并通过高斯光束光斑扩束方法测量石英衬底表面温度分布。理论与实验相符，从而摸索了改善石英衬底温度分布以实现直接沉积微透镜的要求。
- 姚惠贞宋国瑞王东
- 关键词：激光化学温度场微透镜衬底
