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崔阿娟

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇中文专利

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 1篇电子电信

主题

  • 10篇纳米
  • 9篇自支撑
  • 7篇刻蚀
  • 6篇离子束
  • 6篇离子束辐照
  • 5篇图案
  • 5篇绝缘
  • 5篇基底
  • 4篇电极
  • 4篇站立
  • 4篇退火
  • 4篇热退火
  • 4篇物性
  • 4篇衬底
  • 3篇短接
  • 3篇尺寸
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇电极接触
  • 2篇电路
  • 2篇电路制造

机构

  • 20篇中国科学院

作者

  • 20篇崔阿娟
  • 20篇顾长志
  • 18篇李无瑕
  • 9篇刘哲
  • 7篇李俊杰
  • 4篇罗强

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 6篇2015
  • 1篇2014
  • 6篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2011
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种嵌入式微纳通道的制备方法
本发明公开了一种制备嵌入式微纳通道的方法，涉及微纳加工技术，其包括步骤：(1)清理基底；(2)制备横截面尺寸在纳米量级的支撑牺牲层；(3)将步骤(2)中加工好的样品放置与固定在设备中；(4)图形观测，找到支撑牺牲层纳米结...
崔阿娟李无瑕顾长志李俊杰
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一种自掩模单结多端三维纳米结构的制备方法
本发明公开了一种自掩模单结多端三维纳米结构的制备方法，涉及纳米结构制备技术，包括：(1)衬底上功能薄膜材料的生长；(2)功能薄膜材料上自掩模微纳米材料的生长；(3)步骤(2)中制备的样品的放置与固定；(4)基于离子束刻蚀...
李无瑕顾长志崔阿娟
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自支撑三维器件及其制备方法
本发明公开了一种自支撑三维器件及其制备方法。包括：S1：提供一具有基本平坦的上表面的自支撑绝缘介质薄膜；S2：在绝缘介质薄膜的上表面上形成导电层和至少一个具有预定图案的器件单元，以形成一复合层结构；S3：对复合层结构进行...
刘哲李俊杰崔阿娟李无瑕顾长志
文献传递
自支撑三维器件及其制备方法
本发明公开了一种自支撑三维器件及其制备方法。包括：S1：提供一具有基本平坦的上表面的自支撑绝缘介质薄膜；S2：在绝缘介质薄膜的上表面上形成导电层和至少一个具有预定图案的器件单元，以形成一复合层结构；S3：对复合层结构进行...
刘哲李俊杰崔阿娟李无瑕顾长志
一种制备三维超导微纳器件的方法
本发明公开了一种制备三维超导微纳器件的方法，涉及三维微纳器件技术，其包括步骤：(1)超导电极接触块及/或连线的生长；(2)将步骤(1)中加工好的样品的放置与固定；(3)将固定于样品托上的样品放入离子束设备真空腔内的样品台...
李无瑕崔阿娟顾长志
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一种多壁碳纳米管电极的制作方法
本发明涉及一种多层管壁参与导电的多壁碳纳米管电极的制作方法，其包括将多壁碳纳米管分散于具有绝缘介质层衬底上；通过电子束曝光等微纳米加工技术制作仅接触多壁碳纳米管外层管壁的金属电极；利用聚焦离子束刻蚀技术在金属电极与多壁碳...
罗强顾长志崔阿娟
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自支撑三维器件
本发明公开了一种自支撑三维器件，包括：具有窗口的基底；自支撑的绝缘介质薄膜，该绝缘介质薄膜形成在基底上并覆盖窗口，并且该绝缘介质薄膜具有：在一延伸平面内延伸的主体部；和从主体部切出的至少一个悬空部，悬空部与主体部成局部连...
刘哲李俊杰崔阿娟李无瑕顾长志
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一种自支撑多层微纳米结构的制备方法
本发明是一种自支撑多层微纳米结构的制备方法，其包括步骤：平整衬底的选取与清洗；在平整衬底上生长多层膜结构，形成多层膜基底；在多层膜基底上制备自支撑母体纳米结构，形成多层膜基底自支撑母体纳米结构体系；对多层膜基底自支撑母体...
顾长志崔阿娟李无瑕刘哲
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基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法
本发明是基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法，其包括步骤：在清洗过的光滑衬底上过渡层的制备；制备纳米薄膜并从光滑衬底上剥离纳米薄膜；制备具有孔洞结构的支撑衬底；将纳米薄膜到孔洞结构支撑衬底上的转移；在纳米薄膜...
李无瑕崔阿娟刘哲顾长志
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一种嵌入式微纳通道的制备方法
本发明公开了一种制备嵌入式微纳通道的方法，涉及微纳加工技术，其包括步骤：(1)清理基底；(2)制备横截面尺寸在纳米量级的支撑牺牲层；(3)将步骤(2)中加工好的样品放置与固定在设备中；(4)图形观测，找到支撑牺牲层纳米结...
崔阿娟李无瑕顾长志李俊杰
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