常素萍
- 作品数：73 被引量：106H指数：7
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 四象限光电探测器用于表面形貌测量的研究被引量：12
- 2008年
- 提出了一种PIN田字形四象限光电探测器接收激光干涉条纹的空间布置方法。利用积分分析法分析了在理想干涉条纹下,条纹宽度d和条纹旋转角度β与光电探测器差分信号幅值和相差的关系,并给出了满足正交条件的合适的条纹宽度d以及对应的条纹旋转角度β。设计了PIN型四象限光电探测器用于三维表面形貌测量的前置放大电路。实验应用结果表明,PIN型四象限光电探测器的差分信号能满足计数和细分要求,用于拾取激光干涉条纹能达到纳米级分辨率,能满足微纳米表面形貌测量的要求。
- 王淑珍谢铁邦常素萍王选择
- 关键词：干涉条纹表面形貌
- 垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统被引量：23
- 2006年
- 依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。
- 戴蓉谢铁邦常素萍
- 关键词：白光干涉微动工作台有限元分析
- 一种新型弹头痕迹测量仪被引量：1
- 2009年
- 介绍了一种新型的接触与非接触弹头痕迹测量系统,该系统可以获取弹头痕迹的二维平面图像和准确的弹头轮廓高度信息。它由直线相位光栅干涉式大量程位移传感器进行弹头截面轮廓和三维形貌的接触测量,并采用显微镜和CCD摄像装置进行弹头痕迹的非接触图像测量。接触式测量理论测量分辨率可达到0.12nm,测量量程大于2mm,圆周分辨率为2.16',非接触测量横向分辨率5μm。
- 王淑珍谢铁邦常素萍
- 关键词：弹头痕迹位移传感器工作台
- 气浮支承式触针测量系统径向动态性能研究
- 2021年
- 触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍了一种气浮触针式测量传感器,触针轴运动方向与位移测量方向一致,有效地避免了非线性误差;在研究中建立了气浮支承式触针测量系统的运动模型,分析了测量系统的动静态特性,研究了影响气浮支承径向动态性能的因素,进行了径向刚度和动态参数的理论仿真模拟,并通过动态特性试验测试和分析得到传感器最大扫描频率为125Hz;搭建了气浮触针式表面形貌测量系统并进行测量试验,得到传感器测量的相对误差为0.8%。
- 吴运权常素萍吴昊
- 关键词：表面形貌测量模态识别
- 一种基于纳米位移计量传感器的纳米微位移检测仪
- 本发明提出一种光学倍频的纳米位移计量传感器，包括激光器、偏振分光棱镜、1/4玻片、角锥棱镜、平面反射镜、偏振片、光电探测器和底座。本发明的传感器采用光学倍频技术，直接在光学结构上将光程差进行8细分，同时采用偏振分光棱镜和...
- 常素萍汪俊伟黑亚君胡春冰孙艳玲
- 文献传递
- 光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析被引量：1
- 2006年
- 为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率运动要求,研制出一种纳米级垂直扫描位移工作台.该工作台采用柔性铰链结构,压电陶瓷驱动位移,满足纳米级微位移驱动要求,同时利用两级杠杆放大结构,扩大了位移行程.针对压电陶瓷驱动的位移随电压变化的非线性特点,利用衍射光栅对压电驱动进行实时监控,对这种非线性误差进行实时补偿.衍射光栅固定在工作台的微定位板上,工作台的移动量可由衍射光栅二次衍射干涉后产生的条纹变化得到.根据衍射光栅的计量特点,分析垂直扫描位移工作台测量误差的主要影响因素.通过试验验证,优化系统误差,进一步提高了垂直扫描位移工作台的定位精度.
- 常素萍孙艳玲谢铁邦戴蓉
- 关键词：计量学压电陶瓷衍射光栅白光干涉
- 一种白光干涉原子力扫描探针的标定装置及其标定方法
- 本发明公开了一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针标定系统及标定方法，该标定系统包括面CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，白光光源系统，纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统以及数据处理系统，其中面CCD测量...
- 卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
- 文献传递
- 一种面、线CCD组合的原子力探针扫描测量系统及测量方法
- 本发明公开了一种面、线CCD组合的白光干涉原子力探针扫描显微镜测量系统及其测量方法，该测量系统包括面、线CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，干涉光源系统，调整系统以及数据处理系统；干涉光源系统用于产生测试的白光光源...
- 卢文龙庾能国刘晓军杨文军常素萍曾春阳
- 文献传递
- 一种提取峰值位置索引坐标的方法、系统及计算机可读介质
- 本发明公开了一种提取峰值位置索引坐标的方法、系统及计算机可读介质，其利用光学测量系统获取归一化的离散单峰信号，利用预设强度阈值T获得截取后的离散单峰信号，计算截取后的离散单峰信号的动态阈值并对归一化的离散单峰信号进行滤除...
- 卢文龙陈成王健刘晓军周莉萍常素萍
- 文献传递
- 大量程触针杠杆式轮廓仪的非线性误差分析和补偿被引量：1
- 2012年
- 介绍了一种基于光栅干涉测量原理的大量程、高精度触针杠杆式表面形貌传感器，并对传感器在大量程测量时的非线性误差进行了分析。测量时轮廓仪在水平和垂直方向上都会由于测杆绕固定支点的转动而产生非线性误差，为此提出了一种对水平和垂直方向上非线性误差进行校正的新方法。通过使用大量程、高精度的一维垂直微位移工作台和标准楔形斜块进行误差校正。最后分别给出校正前后误差曲线，并进行对比。通过分析可知，此方法可以有效减小测量时的非线性误差，大大提高轮廓仪在进行大量程测量时的精度，从而实现大量程、高精度测量。
- 衷颖杰常素萍谢铁邦
- 关键词：计量学误差补偿
