张小岗
- 作品数：9 被引量：41H指数：3
- 供职机构：中国人民大学化学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程一般工业技术环境科学与工程更多>>
- 含烃类表面活性剂超临界二氧化碳干燥光刻胶的研究
- 随着集成电路微型化和结构复杂程度的提高,微电子加工过程的干燥步骤中,结构构型由于表面张力的作用而导致的塌陷和变形已成为日益严重的问题.含有烃类表面活性剂的超临界二氧化碳可以将体系表面张力降低到1 mN/m,而且大大节省了...
- 陈鹏张小岗
- 关键词：超临界二氧化碳表面活性剂
- 文献传递
- 基于二氧化碳溶液体系清除硅片表面纳米级金属颗粒的微观模型研究
- 本文建立了硅片上纳米金属颗粒的静态力模型,分析了范德华力、库仑力、接触作用势、重力、浮力、表面张力、毛细管作用力等对金属颗粒的影响,计算了在不同条件下(温度、压力、颗粒大小、浸没高度和共溶剂或表面活性剂)金属铜颗粒与硅基...
- 张小岗谭欣柴家珏张建超尚文婷
- 关键词：超临界二氧化碳金属颗粒硅片
- 物理专业普通化学课程教学改革初探被引量：4
- 2011年
- 结合物理专业特点,从确立课程主线入手进行普通化学教学内容和教学方式改革,使教师授课和学生学习的重点更为突出,内容更加新颖丰富。
- 张小岗
- 关键词：普通化学物理专业教学改革
- 超临界流体技术制备纳米材料进展被引量：3
- 2006年
- 目前,已经有多种与超临界流体有关的技术用于纳米材料的制备。在这些技术方法中,超临界流体可以作为介质,也可以直接作为反应物来参与制备过程。超临界流体技术广泛应用于制备无机材料、有机材料、高分子聚合物、医药、电子等方面纳米级材料。本文概述了超临界流体制备纳米材料的研究和应用情况。
- 陈鹏张小岗
- 关键词：超临界流体
- 超临界CO_2流体萃取土壤中污染物的应用研究进展被引量：18
- 2010年
- CO2在超临界状态下具有许多独特的物理化学性质,作为一种"绿色"溶剂,它具有无毒、无污染、易获取等优点。近年来,有关超临界CO2流体热力学相行为和溶解度性质的研究引起人们广泛的关注,与之密切相关的超临界流体萃取技术已在许多领域得到重视和发展。根据近年国内外运用超临界CO2流体对土壤中多环芳烃、多氯联苯、重金属等污染物的萃取应用,分析了温度、压力、共溶剂等因素对萃取效果的影响,通过与其他土壤修复技术的比较,展望了超临界流体萃取技术应用于土壤修复领域的可行性和研究方向。
- 欧阳勋陈家玮张小岗
- 关键词：超临界流体萃取超临界CO2土壤修复
- 超临界二氧化碳溶液体系集成处理新一代微电子器件研究进展被引量：2
- 2006年
- 微电子加工过程中要用到许多化学品和大量的超纯水,随着集成电路微型化和结构复杂程度的提高,各种溶液介质由于自身存在较大的表面张力而不容易穿透进入到微纳结构的内部,可能影响刻蚀、各种清洗和干燥等过程的正常进行.因此,在微电子加工过程中迫切需要引入新的技术和方法来应对这种挑战.超临界流体,尤其是超临界二氧化碳溶液体系,由于其具有独特的物理化学性质,而且临界条件相对较温和,有希望作为有机溶剂和化学品水溶液的替代品应用于微电子加工过程.本文介绍了在微电子核心加工过程中有潜在应用前景的旋转涂敷、微纳尺寸显影、表面硅烷化等有超临界二氧化碳参与的技术,重点对作者基于二氧化碳溶液体系清除刻蚀后多孔低介电材料微结构中的残余物,以及超临界二氧化碳溶液干燥光刻胶方面的研究工作进行评述,并讨论了其今后的发展方向.
- 张小岗Keith P.Johnston
- 关键词：超临界二氧化碳
- 超临界二氧化碳溶液清洗及修复Low-k材料研究
- 随着集成电路微型化和结构复杂程度的提高,微电子清洗过程中,结构构型由于表面张力的作用而导致的塌陷和变形已成为日益严重的问题。含表面活性剂的超临界二氧化碳可以将体系表面张力降低到1 mN/m,不会造成图像的变形.结果显示,...
- 张小岗柴家珏
- 关键词：超临界二氧化碳介电常数集成电路表面活性剂
- 文献传递
- 微粉化技术提高水不溶性药物溶解度被引量：14
- 2007年
- 药物的微粉化可以改善颗粒的润湿性,进而提高水不溶性药物的溶解度和溶解速率。目前普遍采用的药物微粒化技术主要包括机械研磨、超临界流体过程、低温喷淋和溶剂蒸发沉积过程。本文介绍了这些微粉化制备技术的基本原理以及该类技术的应用进展。
- 陈鹏张小岗
- 关键词：微粉化超临界流体
- 超临界二氧化碳在文物保护方面的应用
- 本文将超临界二氧化碳技术应用在文物保护方面,主要对纸质文档清洗,脱酸以及油画的清洗,修复做了探究.通过对常压和高压下不同处理效果的对比,证明了超临界二氧化碳技术在文物保护方面的可行性.结果表明，超临界二氧化碳清洗纸质档案...
- 张淑娟张小岗
- 关键词：文物保护纸质档案油画清洗技术超临界二氧化碳
- 文献传递
