朱椒娇
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 晶圆切割和随机缺陷驱动的掩模设计方法被引量：2
- 2014年
- 针对现有掩模设计方法的不足,提出了同时考虑晶圆切割和随机缺陷的掩模设计方法.在预估边到边晶圆切割引起的成品率丢失的同时,将随机缺陷引起的成品率丢失也纳入了设计参考量.对掩模上芯片进行布局规划的阶段,使那些由于随机缺陷造成成品率丢失较高的芯片在布局规划的目标函数中拥有较大的权重.这些芯片会在模拟退火算法迭代的过程中被自动放置在相应的与其他芯片较少切割冲突的位置,避免了后期晶圆切割对其产量造成的损失.此方法均衡了芯片之间的产量,在满足各个芯片需要产量的前提下,减少了生产所需的晶圆数量.与最小化掩模面积的设计方法和只考虑晶圆切割的设计方法比较,该方法使生产所需要的晶圆数量分别减少了15.22%和7.14%.
- 叶翼朱椒娇史峥
- 关键词：集成电路制造计算机辅助设计模拟退火成品率模型
- 一种改进的考虑划痕的关键面积计算模型和方法被引量：1
- 2013年
- 关键面积计算对于集成电路成品率的准确预测有着重要的意义。为了得到精确的结果,关键面积计算需要根据缺陷形状的不同选择适当的缺陷模型。针对化学机械研磨引入的划痕,提出了一种线性缺陷模型来计算其关键面积。在此基础上进一步考虑了线端效应的影响,对考虑划痕的关键面积计算模型提出了改进。实验结果表明改进后模型的计算结果更为准确。
- 叶翼朱椒娇张波史峥严晓浪
- 关键词：化学机械研磨划痕关键面积成品率
- 一种快速计算和优化关键面积提高成品率的方法
- 2013年
- 成品率驱动设计(DFY)已经成为集成电路设计的必然趋势。基于随机缺陷的DFY设计的主要目标是通过优化版图的关键面积来提高成品率。针对版图局部修改后关键面积的重新计算问题,提出了一种快速计算关键面积的方法,不仅能快速比较各种修改方案的优劣,还能利用计算速度的优势,快速得到最优的设计修改方案,极大的降低了DFY设计的计算时间成本,提高集成电路产品的成品率。
- 朱椒娇罗小华陈利升叶翼严晓浪
- 关键词：关键面积VORONOI图
- 集成电路随机缺陷成品率预测技术研究
- 随着集成电路产业进入纳米工艺时代，由随机缺陷造成的成品率问题越来越严重。巨额的生产成本和更短的上市周期，要求在产品设计阶段就能对成品率做出快速而准确的预测，并能通过改进设计提高成品率。 本文围绕随机缺陷成品率预测技术，...
- 朱椒娇
- 关键词：集成电路成品率预测技术VORONOI图
