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梁家欣

作品数：8 被引量：7H指数：2
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 4篇晶圆
  • 3篇压气机
  • 3篇移动体
  • 3篇余热
  • 3篇增压
  • 3篇增压器
  • 3篇排气余热
  • 3篇偏心
  • 3篇偏心量
  • 3篇涡轮
  • 3篇涡轮增压
  • 3篇涡轮增压器
  • 3篇连接管
  • 3篇径向
  • 3篇径向位移
  • 3篇机械设计
  • 2篇真空
  • 2篇视觉
  • 1篇质心
  • 1篇质心法

机构

  • 8篇上海交通大学

作者

  • 8篇梁家欣
  • 4篇刘品宽
  • 3篇张波
  • 3篇张帆
  • 3篇刘洪涛
  • 3篇莫锦秋
  • 3篇朱晓博
  • 1篇朱晓博

传媒

  • 1篇机电一体化

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2013
  • 1篇2012
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
晶圆预对准系统定位算法研究被引量：3
2013年
为提高光刻机生产效率与国产化普及程度,论文设计了一种高效、低成本晶圆预对准装置。根据装置采样点数较低、预对准时间短的特性,对最小二乘圆法及质心法两种算法在晶圆形心定位中的使用特点进行探究,并通过仿真进行验证。提出最小二乘圆法较适用6 000点及以下低采样点的形心定位,而质心法在高采样点形心定位中更为适合,且有较强抗干扰能力。
梁家欣朱晓博刘品宽
关键词：质心法
机械式连接管错位连通系统
一种机械设计技术领域的机械式连接管错位连通系统，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与...
梁家欣莫锦秋刘洪涛
文献传递
机械式连接管错位隔断装置
一种机械设计技术领域的机械式连接管错位隔断装置，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与...
梁家欣莫锦秋刘洪涛
文献传递
一种晶圆预对准装置
本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ...
张波刘品宽朱晓博张帆梁家欣
文献传递
一种晶圆预对准装置
本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ...
张波刘品宽朱晓博张帆梁家欣
文献传递
一种晶圆预对准方法
本发明提供了一种晶圆预对准方法，包括利用高精度激光透过式传感器，根据晶圆边缘一周数据，通过构造晶圆形心检测的数学模型，计算出晶圆的形心位置坐标<Image file="DDA00002664943100011.GIF" ...
张波刘品宽朱晓博张帆梁家欣
文献传递
晶圆预对准装置设计与对准算法的研究
集成电路(IC)作为电子信息产业核心,在市场需求推动下高速发展。IC半导体产业的高速发展也为半导体制造装备带来强大增长推力。其中集束型半导体制程设备(Cluster Tools)能够整合多种制程模组,具有产能高、弹性大等...
梁家欣
关键词：功能分析
机械式连接管错位连通系统
一种机械设计技术领域的机械式连接管错位连通系统，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与...
梁家欣莫锦秋刘洪涛
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