沈斌
- 作品数：12 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院战略性先导科技专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程更多>>
- 米级光栅玻璃光刻胶精密涂覆方法
- 本发明公开了一种米级光栅玻璃高均匀性光刻胶精密涂覆方法，包括步骤：准备好光刻胶→将光刻胶投入压力罐→利用压缩空气将压力罐内的光刻胶从喷枪喷嘴中喷出→往复喷涂在米级光栅玻璃上形成湿膜→旋转米级光栅玻璃进行甩胶→进烘箱烘干。...
- 熊怀唐永兴沈斌陈知亚
- 文献传递
- 高低温热处理溶胶凝胶SiO2减反膜稳定性研究
- 以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂通过溶胶凝胶法制备二氧化硅悬浮液,经粒径测试观察到溶胶体系平衡稳定,颗粒粒径在四个月的时间内基本保持在6.5nm左右。运用提拉法以一定的速度在石英玻璃基片上涂膜,分别进行200℃和80...
- 沈斌李海元熊怀张旭唐永兴
- 关键词：溶胶凝胶二氧化硅稳定性
- 文献传递
- 旋涂法涂制溶胶凝胶改性SiO2减反膜性能研究被引量：3
- 2019年
- 运用溶胶改性和溶剂置换的方法制备以癸烷为溶剂的SiO2溶胶,通过单面旋涂方法在方形50 mm×50mm×10mm的KDP晶体基片上制备均匀性良好的膜层。使用分光光度计测试涂膜的晶体基片,涂制三倍频及基频二倍频减反膜的KDP晶体基片在378nm和835nm处的透过率峰值均大于99.5%,膜层减反射效果良好。结合过滤技术及超声波清洗技术实现了膜层制备过程中的缺陷控制,将经过缺陷控制的三倍频减反膜涂制在洁净度高的熔石英陪涂片上,并在测试前进行激光(波长为355nm,脉宽为3ns)预处理,得到的三倍频减反膜的抗激光损伤阈值为(14.0±2.1)J·cm^2。
- 沈斌李海元张旭
- 关键词：溶胶凝胶二氧化硅旋涂法
- 方形基片旋涂法镀疏水性二氧化硅减反膜(英文)
- 2012年
- 在方形基片上通过旋涂法制备了疏水性膜层。研究了减小几何效应和伯努利效应对膜层均匀性的影响。结果表明,疏水性氧化硅溶胶具有良好的稳定性。疏水性氧化硅膜层即使不进行热处理也有良好的防潮性能。在室温下和超过90%相对湿度环境下的膜层透过率分别达到99.5%和99%,水接触角分别达到1 36°和139°。关于改性溶胶,刚制备完成测得的平均粒度是35.27 nm,放置50天后测得的平均粒度是37.15 nm。
- 沈斌李海元熊怀唐永兴
- 关键词：溶胶-凝胶减反膜疏水性旋涂法
- 溶胶凝胶ZrO_(2)/SiO_(2)宽带减反膜的制备与性能
- 2023年
- 采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO_(2)和SiO_(2)溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO_(2)/SiO_(2)三层“宽M型”基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层。三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透过率约为99.5%,且透过率大于99%的波长范围均超过150 nm。经热处理后的膜层表面均方根粗糙度为1.34 nm,表面平整性良好;并运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该减反膜的零几率激光损伤阈值达到36.8 J·cm^(-2)(1064 nm,10.7 ns)。
- 沈斌张旭张旭熊怀李海元
- 关键词：溶胶凝胶减反膜双波长
- 多孔性二氧化硅减反膜胶体规律性研究被引量：4
- 2014年
- 溶胶凝胶法制备减反膜在高功率激光装置中有着重要运用,通过控制水与正硅酸乙酯(TEOS)不同物质的量之比制备不同粒径大小的二氧化硅悬胶体及二氧化硅减反膜,可以研究悬胶体粒径大小对溶液及膜层的激光破坏阈值、光学减反效率稳定性影响。结果表明制备获得的多孔性SiO2减反膜透射率均高于99.5%,激光破坏阈值均大于62J/cm2(1064nm,15ns),其中粒径小的SiO2减反膜透射率达到99.75%,激光破坏阈值高达77.42J/cm2(1064nm,15ns)。随着水酯物质的量比值增大,悬胶体溶液平均粒径增大,当水酯物质的量比值大于3.5时粒径增大幅度加快;粒径在10nm以下的溶液具有优异的稳定性,溶液颗粒大小、粘度等性能基本保持不变。在不同湿度环境下研究不同粒径膜层的稳定性,所有膜层在高湿度环境中透射率有所下降,其中大粒径膜层下降更明显,化学膜更适合在湿度低的环境下使用。
- 沈斌李海元熊怀张旭唐永兴
- 关键词：溶胶凝胶稳定性粒径
- 一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法
- 一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法，采用正硅酸乙酯先掺杂甲基三乙氧基硅烷碱催化后酸催化的方法制备涂膜液，适用于滚涂法、或喷涂法、或浸涂法、或旋涂法，在基板上涂制多孔性二氧化硅基膜层，高温热处理后得到多孔性二氧化硅膜层...
- 熊怀唐永兴沈斌陈知亚
- 文献传递
- 紫外激光波长(266nm)多孔二氧化硅减反膜被引量：5
- 2020年
- 以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂,氨水作为催化剂,在碱催化体系下制备了高分散的SiO2溶胶;然后采用提拉法在不同浓度的SiO2溶胶涂膜液中制备了四倍频266 nm波长增透的SiO2减反膜,并对各膜层的性能进行了测试。测试结果表明:在浓度最大的SiO2溶胶中以4.5 cm·min-1的提拉速度制备得到的四倍频SiO2减反膜的性能最优,其在266 nm处的透过率达到了99.307%,表面粗糙度为1.339 nm,且透过率稳定性优异。
- 沈斌熊怀张旭李海元
- 关键词：溶胶凝胶减反膜二氧化硅四倍频
- 表面改性多孔二氧化硅减反膜的稳定性研究被引量：6
- 2019年
- 以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法制备SiO2溶胶,通过提拉法涂制多孔SiO2减反膜,并在多孔SiO2减反膜上涂制一层甲基三乙氧基硅烷(MTES)预聚体。通过疏水的MTES预聚体涂制在多孔SiO2减反膜上,对多孔SiO2减反膜的表面进行改性,以提高膜层的环境稳定性。经过表面改性的复合膜层的透过率峰值可达99.67%,折射率为1.231,水接触角达123.6°,在相对湿度为95%的环境中放置475 d后膜层的峰值透过率为99.09%,稳定性提高明显。膜层表面平整,激光损伤阈值约为24.5 J/cm^2。
- 熊怀唐永兴唐永兴沈斌李海元
- 关键词：减反膜溶胶-凝胶法稳定性
- 高低温热处理溶胶凝胶SiO_2减反膜的稳定性被引量：2
- 2016年
- 以正硅酸乙酯作为前驱体,乙醇作为溶剂通过溶胶凝胶法制备了二氧化硅悬浮液,经粒径测试观察了溶胶体系的平衡稳定性,颗粒粒径在4个月的时间内基本保持在6.5nm左右。运用提拉法以一定的速度在石英玻璃基片上涂膜,分别进行200℃和800℃马弗炉热处理。经过800℃热处理的膜层透过率曲线向短波方向移动,两者透过率峰值波长相差近210nm,但透过率峰值均超过99.8%,光学性能优异。在不同湿度环境下研究不同温度热处理的膜层稳定性,200℃热处理的膜层在不同湿度环境下透过率均大于99.9%,膜层峰值波长在高湿度环境中减小约150nm;800℃热处理的膜层在高湿度环境下透过率下降0.3%,膜层峰值波长基本保持在600nm。
- 沈斌李海元熊怀张旭唐永兴
- 关键词：溶胶凝胶二氧化硅稳定性
