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王世华

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：四川大学制造科学与工程学院激光应用技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇电传感器
  • 1篇微机械
  • 1篇微加速度计
  • 1篇机械零部件
  • 1篇集成化
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇光电
  • 1篇光电传感器
  • 1篇光干涉
  • 1篇光干涉法
  • 1篇干涉法
  • 1篇感器
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇表面粗糙度测...
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇粗糙度测量

机构

  • 2篇四川大学

作者

  • 2篇周肇飞
  • 2篇王世华
  • 2篇张涛
  • 1篇田云辉
  • 1篇李文杰

传媒

  • 2篇光电工程

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光干涉法测量微机械零件变形的研究被引量：1
2002年
介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被 测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图。该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果。
田云辉王世华张涛周肇飞
关键词：光干涉法微加速度计机械零部件
精密测量用光电传感器集成化研究被引量：3
2000年
描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器 ,即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器。它可同时测量 Ra=0 .0 0 2 5μm～ 5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌 ,以及 0～ 30 0μm的微小位移。测量精度与采用前述三种工作原理的单个传感器相近。
周肇飞李文杰王世华张涛
关键词：光电传感器表面粗糙度测量集成化
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