王军波
- 作品数：203 被引量：313H指数：10
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺电子电信机械工程更多>>
- 差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）
- 2016年
- 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为±46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.999 999 9。
- 邢永豪谢波陈健陈德勇王军波
- 关键词：微机电系统谐振式压力传感器
- 电磁激励微谐振式传感器的设计与制作被引量：1
- 2008年
- 利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励-电磁拾振硅谐振梁式压力传感器。传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构。工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装。利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标。谐振器在空气中的品质因素Q值大于1200;在真空中的Q值大于7000。压力满量程刻度为0～120kPa。差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.9999,灵敏度为225.77Hz/kPa。
- 高振宁陈德勇王军波毋正伟
- 关键词：微机电系统谐振式压力传感器差分检测
- 用于液相检测的谐振式电磁扭摆
- 2011年
- 提出了一种工作在扭转模态的微机械谐振器,与传统的弯曲模态相比,扭转模态能量损耗低,更适用于液相检测。通过ANSYS仿真优化了结构,针对液相中阻尼较大的特点设计可输出大电流的驱动电路,并根据扭摆的输出与速度相关的特点设计了能量补偿电路,此电路可对能量损失进行有效的补偿,扭摆在液相中的品质因数由2.65提高到了40。
- 李翔陈德勇王军波
- 关键词：液相品质因数
- 电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法
- 本发明提供了一种基于集成式热敏电阻的电化学加速度计及将热敏电阻集成在电极中的方法，电化学加速度计包括热敏电阻和放大电路，热敏电阻集成在电极上，其阻值随电极温度变化而变化；放大电路根据热敏电阻的阻值，对输出电压进行补偿。本...
- 王军波邓涛陈德勇陈健孙振源李光磊
- 文献传递
- 谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装被引量：26
- 2014年
- 为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜;然后,通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后,利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通孔,通过硅-玻璃阳极键合实现谐振梁的圆片级真空封装和电连接,成功地将谐振器封装在真空参考腔中。对传感器的性能测试表明:该真空封装方案简单有效,封装气密性良好;传感器在10kPa^110kPa的差分检测灵敏度约为10.66 Hz/hPa,线性相关系数为0.99999 542。
- 陈德勇曹明威王军波焦海龙张健
- 关键词：微电子机械系统谐振式压力传感器阳极键合真空封装
- 电解液体系、制备方法及其应用
- 一种电解液体系、制备方法及其应用，其中电解液体系包括电解液和增粘型添加剂，所述增粘型添加剂包括：有机溶剂，能溶于水，且所述有机溶剂粘度大于所述电解液；或者离子液体和助溶剂，所述离子液体的粘度大于所述电解液，所述助溶剂用于...
- 王军波刘博文陈德勇许超齐文杰郑希宸
- 用于生物微反应器pH在线监测光纤传感器研究
- 以生物微反应器中培养液 pH 在线监测为目标,研制出一种基于光度吸收原理的阵列光纤传感器。利用 MEMS 加工工艺,制备出传感器的阵列吸光池芯片,采用光学软件对吸光池进行优化设计,提高了传感器光传输效率,并通过 CFD ...
- 王军波吴旻宪崔铮崔占峰
- 关键词：光纤传感器微机电系统在线监测阵列
- 文献传递
- 用于重建骨细胞微环境的微流控芯片及其使用方法
- 本发明提供了一种用于重建骨细胞微环境的微流控芯片及其使用方法。该微流控芯片通过构建以金为基底的二维网格图案，通过浸泡硫醇对图案表面进行疏水修饰，使细胞沿着图案实现有序生长；同时利用海藻酸钙聚合物盖住骨细胞细胞体，露出细胞...
- 陈健范蓓媛卫超卫元晨陈德勇王军波
- SOI片过孔内金属焊盘的制作方法
- 本发明提供了一种MEMS圆片级真空封装中过孔焊盘的制作方法。该制作方法利用SOI基片内过孔的特殊结构，采用电化学腐蚀的方法制作过孔内的焊盘，有效解决了SOI片基底层背面金属的电气短路问题，具有成本低、适用于批量生产等优势...
- 王军波谢波陈德勇
- 文献传递
- 电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器
- 本发明提供了一种电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器。该电化学敏感元件采用两层硅片分别制作电极与流道结构，使得制作电极的硅片上可以正反两面都制作出电极结构，在参数一样的情况下，电极的有效面积增大一倍，从而电化学...
- 王军波龚黎明陈德勇陈健
- 文献传递
