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田博
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2
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天津理工大学
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相关领域:
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魏军
天津理工大学
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苗银萍
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林新元
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田博
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极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
张楷亮
魏军
王芳
袁育杰
苗银萍
宋殿友
许旺
林新元
朱晓松
胡凯
田博
随着集成电路特征尺寸的进一步微细化,互连线所承载的电流密度越来越大,正在挑战Cu互连线的极限(106A/cm<'2>),尤其是ITRS预测技术时代进入32纳米后,互连线的电流承载密度将达107A/cm<'2>,这将超越C...
关键词:
关键词:
集成电路
碳纳米管
碳纳米管互连线串扰问题的研究
ITRS预测,随着集成电路特征尺寸的不断减小,由于铜互连线的电子表面和晶界的散射,其电阻率将迅速增加,从而会引起延时及串扰等严重问题,碳纳米管将会是取代铜作为互连线的理想材料之一。到目前为止,虽然对碳纳米管的制备取得了很...
田博
关键词:
碳纳米管
互连线
传输线模型
信号串扰
集成电路
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