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白婷

作品数：3 被引量：24H指数：3
供职机构：西北核技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
  • 1篇淀积
  • 1篇准分子
  • 1篇准分子激光
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲激光
  • 1篇脉冲激光淀积
  • 1篇均匀性
  • 1篇激光
  • 1篇激光淀积
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇非晶硅
  • 1篇非晶硅薄膜
  • 1篇分子
  • 1篇ZNS

机构

  • 3篇西北核技术研...

作者

  • 3篇王晟
  • 3篇白婷
  • 3篇刘晶儒
  • 3篇叶锡生
  • 2篇叶景峰
  • 2篇王立君
  • 1篇李铁军
  • 1篇王丽戈
  • 1篇姚东升
  • 1篇袁孝

传媒

  • 1篇中国激光
  • 1篇光子学报
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2007
  • 1篇2002
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究被引量：16
2002年
利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜 ,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响 。
刘晶儒白婷姚东升李铁军王丽戈袁孝王晟叶锡生
关键词：准分子激光脉冲激光淀积类金刚石薄膜非晶硅薄膜
利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜被引量：4
2007年
利用氟化氪（KrF）脉冲准分子激光烧蚀沉积（PLD）技术，通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断，实现了等离子体成分的选择性沉积。在不降低光谱范围和透过率指标的前提下，解决了类金刚石（DLC）薄膜和硫化锌（ZnS）基底的牢固结合问题；通过改进基底平台的扫描方式，在激光烧蚀沉积工艺中沉积了φ80 mm的大面积均匀类金刚石薄膜。制备的类金刚石／ZnS镀膜样品，光谱范围为0．53～12μm，其中1．3～11μm波段透过率在70％以上，膜层均匀性优于95％，可耐受环境湿度95％～100％，工作温度-45～85℃，附着力达到国军标要求。研究表明，利用类金刚石薄膜可以明显提高ZnS材料的耐冲击、耐高温、耐辐射和抗沙粒、盐、雾和尘埃的磨损侵蚀等能力。
白婷叶景峰刘晶儒王晟叶锡生王立君
关键词：类金刚石薄膜
光溅射镀膜均匀性的优化模拟被引量：5
2010年
为了改善脉冲激光溅射沉积大面积薄膜的均匀性,发展了基片离轴旋转的扫描技术.根据基片离轴旋转的基本原理和等离子体羽空间余弦分布规律,建立了径向膜厚分布公式.数值模拟了各种因素对基片离轴旋转扫描沉积薄膜均匀性的影响.分析表明,优化粒子束中心与基片中心偏置距离、溅射点与基片的距离是改善基片离轴旋转扫描镀膜均匀性的主要途径.同时也考虑了电机转速、镀膜时间和激光重频的影响.通过参量优化,当均匀度要求在95%时,计算得到薄膜的最大半径超过40mm.
王晟叶景峰刘晶儒白婷叶锡生王立君
关键词：均匀性
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