程利娜
- 作品数：46 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市科技计划项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术理学更多>>
- 一种可现场编程的声表面波射频电子标签
- 本发明涉及一种可现场编程的声表面波射频电子标签，包括：压电基片、一发射叉指换能器和一组分布式反射栅阵，所述的声表面波电子标签的每根反射栅条两端均设有触点，且这些分布式反射栅条之间互不连接；所述的声表面波电子标签还包括与其...
- 李红浪程利娜何世堂
- 一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器
- 本发明公开了一种利用气敏薄膜加热的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括电气引脚(1)、金属基座(2)、电气引线(3)、声表面波器件(4)、保护薄膜(5)以及气敏薄膜(6)，气敏薄膜(6)包括蛇形气敏薄膜与块状气...
- 王文崔柏乐薛蓄峰程利娜张玉凤
- 基于石英的声表面波宽量程气压传感器研究被引量：2
- 2021年
- 该文提出了一种面向航天航空飞行器宽量程压力检测的声表面波(SAW)传感器的设计方法。在Y切石英晶体上,利用半导体平面工艺设计并制作了单端对谐振型传感器,在此基础上,通过石英干法刻蚀工艺制备了压力参考腔,并构建了全石英封装的面压式传感结构。利用搭建的气压测试平台,对制备的SAW传感器性能进行测试,测试结果表明,传感器在0~3.6 MPa量程内获得了1.36 kHz/MPa的检测灵敏度,并表现出良好的线性度。
- 李学玲王文范淑瑶程利娜高旭胡梵冰
- 关键词：声表面波气压传感器宽量程
- 一种二维压电声子晶体射频声波导
- 本发明涉及一种二维压电声子晶体射频声波导，该二维压电声子晶体射频声波导包括设置在压电基片上的二维金属点阵，所述二维金属点阵的y方向晶格常数与x方向晶格常数成比例，使得x方向上的通带对应于y方向上的阻带。所述二维金属点阵的...
- 李红浪柯亚兵程利娜何世堂
- 文献传递
- 热声转换的声表面波电压传感机制
- 2023年
- 提出了一种基于热声转换的高灵敏声表面波(SAW)电压传感机制并开展实验验证。从传热角度以及微扰理论出发建立了基于热声转换机制的SAW电压传感理论模型,探索了结构参数以及环境因素对SAW电压传感器灵敏度的影响规律。为了验证理论模型,在Y切石英基底上同芯片集成设计MEMS微型加热器与200 MHz声表面波器件以制备SAW电压传感器件,并搭建电压测试平台对传感器件开展性能测试。实验结果表明所制备的SAW传感器件电压与频率响应之间具有二次线性关系且在室温(20℃)下具有与理论相近的电压灵敏度(22.4 kHz/V),此外实验获得的环境温度对电压灵敏度的影响规律与理论相符。基于热声转换机制的SAW电压传感器能够显著的提高电压检测灵敏度。
- 崔柏乐王文金晶程利娜程利娜梁勇
- 关键词：声表面波器件SAW传感器传感器灵敏度电压灵敏度微扰理论
- 一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器
- 本发明公开了一种采用多层薄膜介质的声表面波气体传感器，所述声表面波气体传感器包括压电晶体(4)、加热电阻丝(3)、电气输入引脚(7)、电气输出引脚(8)、第一个叉指换能器(5)以及第二个叉指换能器(6)，在第一个叉指换能...
- 王文崔柏乐薛蓄峰程利娜张玉凤
- 一种声表面波传感器芯片结构及传感器
- 本发明公开了一种声表面波传感器芯片结构，该结构包括，压电基片(21)和叉指换能器(20)；其中，叉指换能器(20)包括汇流条(22)和电极部分(23)，电极部分(23)设置为尖角结构；压电基片(21)用于积聚电能；叉指换...
- 李红浪蔡飞达李鹏旭柯亚兵田亚会程利娜
- 文献传递
- 声表面横波压力传感器的电极质量负载效应分析方法
- 2018年
- 针对声表面横波（Surface Transverse Wave,STW）压力传感器,提出了一种考虑叉指电极质量负载的有限元和微扰理论结合分析方法。首先构建包含叉指电极的有限元模型,通过计算电极表面的面电荷得到器件的等效输入导纳,由导纳谐振点处提取STW传播声场,然后根据微扰理论,由STW传播声场以及压力引起的传感器结构的应力应变,得到包含电极质量负载影响的STW传感器的灵敏度。以一种基于ST-90°X石英材料的点压式STW压力传感器为例进行了理论计算,电极厚度为0.17 μm和0.21 μm时,计算灵敏度分别为-54.9 kHz/bar和-21.7 kHz/bar,说明电极质量负载对于传感器有较大影响。制作电极厚度为0.17 μm的传感器进行测试,得到-57 kHz/bar的压力灵敏度,实验结果和理论结果吻合,证明计算方法的有效性。
- 赵一宇李红浪程利娜柯亚兵赵建章何世堂
- 关键词：压力传感器叉指电极压力灵敏度有限元模型微扰理论
- 一种低损耗高温度稳定性的表面声波传感器
- 本发明提供一种低损耗高温度稳定性的表面声波传感器，包括：压电基片、沉积在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器、以及覆盖在所述压电基片以及输入叉指换能器和输出叉指换能器上面的敏感膜。所述压电基片为兼具高机电耦合系数...
- 李红浪程利娜何世堂
- 文献传递
- 一种基于多模式光纤结构的微光机电陀螺
- 本发明涉及一种基于多模式光纤结构的微光机电陀螺，包括：基底材料(11)、设置于基底材料(11)上的叉指换能器(15)和声光波导区域(16)、多模式光纤(12)、起偏器(13)和检偏器(18)；所述叉指换能器(15)产生的...
- 李红浪卢孜筱田亚会柯亚兵程利娜
- 文献传递
