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萧域星

作品数：5 被引量：7H指数：1
供职机构：武汉材料保护研究所更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇会议论文
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇等离子体
  • 2篇气相沉积
  • 2篇溅射
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇阳极
  • 1篇真空
  • 1篇真空离子
  • 1篇渗硫
  • 1篇离子渗
  • 1篇离子渗硫
  • 1篇脉冲偏压
  • 1篇金属
  • 1篇辅助阳极
  • 1篇PMD
  • 1篇表面处理
  • 1篇磁控溅射技术

机构

  • 5篇武汉材料保护...

作者

  • 5篇倪翰
  • 5篇萧域星
  • 5篇凌国伟

传媒

  • 2篇真空
  • 1篇全国薄膜学术...
  • 1篇首届全国耐蚀...
  • 1篇首届全国耐蚀...

年份

  • 1篇2001
  • 2篇1999
  • 2篇1998
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
真空离子渗硫技术及设备特点
简要介绍了离子渗硫技术，论述了当前离子渗硫技术的发展、应用的一些方面。提出了有关设备的几个关键问题。
凌国伟倪翰萧域星
关键词：离子渗硫等离子体表面处理
磁控溅射技术的新进展
凌国伟倪翰萧域星
关键词：磁控溅射
真空电弧沉积技术发展
凌国伟倪翰萧域星
关键词：脉冲偏压
文献传递
阴极电弧沉积技术的新发展被引量：6
1999年
本文介绍了三件阴极电弧沉积的专利。这些专利代表了近年来阴极电弧沉积技术的发展状况，并给予简要的一些评论。
凌国伟倪翰萧域星
关键词：气相沉积辅助阳极金属
等离子增强磁控溅射沉积技术(PMD)被引量：1
2001年
本文介绍了等离子增强磁控溅射沉积技术。有关技术背景、技术发展、技术应用都作了论述。对技术关键问题进行了评论 。
凌国伟倪翰萧域星
关键词：磁控溅射等离子体气相沉积PMD
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