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萧域星
作品数:
5
被引量:7
H指数:1
供职机构:
武汉材料保护研究所
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相关领域:
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
凌国伟
武汉材料保护研究所
倪翰
武汉材料保护研究所
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2篇
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2篇
等离子体
2篇
气相沉积
2篇
溅射
2篇
磁控
2篇
磁控溅射
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真空
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1篇
离子渗
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离子渗硫
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脉冲偏压
1篇
金属
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辅助阳极
1篇
PMD
1篇
表面处理
1篇
磁控溅射技术
机构
5篇
武汉材料保护...
作者
5篇
倪翰
5篇
萧域星
5篇
凌国伟
传媒
2篇
真空
1篇
全国薄膜学术...
1篇
首届全国耐蚀...
1篇
首届全国耐蚀...
年份
1篇
2001
2篇
1999
2篇
1998
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5
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真空离子渗硫技术及设备特点
简要介绍了离子渗硫技术,论述了当前离子渗硫技术的发展、应用的一些方面。提出了有关设备的几个关键问题。
凌国伟
倪翰
萧域星
关键词:
离子渗硫
等离子体
表面处理
磁控溅射技术的新进展
凌国伟
倪翰
萧域星
关键词:
磁控溅射
真空电弧沉积技术发展
凌国伟
倪翰
萧域星
关键词:
脉冲偏压
文献传递
阴极电弧沉积技术的新发展
被引量:6
1999年
本文介绍了三件阴极电弧沉积的专利。这些专利代表了近年来阴极电弧沉积技术的发展状况,并给予简要的一些评论。
凌国伟
倪翰
萧域星
关键词:
气相沉积
辅助阳极
金属
等离子增强磁控溅射沉积技术(PMD)
被引量:1
2001年
本文介绍了等离子增强磁控溅射沉积技术。有关技术背景、技术发展、技术应用都作了论述。对技术关键问题进行了评论 。
凌国伟
倪翰
萧域星
关键词:
磁控溅射
等离子体
气相沉积
PMD
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