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董伯先
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
大连理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
康仁科
大连理工大学
金洙吉
大连理工大学
苑泽伟
大连理工大学
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刚石
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超精
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超精密
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金刚石膜
1篇
化学机械抛光
1篇
机械抛光
1篇
CVD金刚石...
机构
5篇
大连理工大学
作者
5篇
董伯先
4篇
苑泽伟
4篇
金洙吉
4篇
康仁科
年份
1篇
2011
1篇
2009
3篇
2008
共
5
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大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法及装置
本发明属于超硬材料抛光技术领域,公开一种大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法与装置。其特征是抛光装置包括抛光机机体、抛光盘、抛光头、滴料器、集电环、抛光机外罩、电加热温度调节装置等。抛光时,抛光盘转速为50~120r/m...
金洙吉
苑泽伟
康仁科
董伯先
文献传递
用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法
本发明属于超硬材料抛光技术领域,公开了一种用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法。其特征是采用氧化能力较强的氧化剂包括三氧化铬、过硫酸铵、高锰酸钾、重铬酸钾、双氧水、高铁酸钾、高氯酸钾等作为主要成分,加入...
金洙吉
苑泽伟
董伯先
康仁科
文献传递
CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制
金刚石具有优异的机械性能、热力学性能、光学性能、声学性能、半导体性能及化学惰性,作为一种全方位的多功能材料,在诸多领域具有非常广阔的应用前景。尽管CVD金刚石膜的问世缓解了天然金刚石储量极少和价格昂贵的问题,但它表面质量...
董伯先
关键词:
CVD金刚石膜
化学机械抛光
抛光液
文献传递
用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法
本发明属于超硬材料抛光技术领域,公开了一种用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法。其特征是采用氧化能力较强的氧化剂包括三氧化铬、过硫酸铵、高锰酸钾、重铬酸钾、双氧水、高铁酸钾、高氯酸钾等作为主要成分,加入...
金洙吉
苑泽伟
董伯先
康仁科
文献传递
大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法及装置
本发明属于超硬材料抛光技术领域,公开一种大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法与装置。其特征是抛光装置包括抛光机机体、抛光盘、抛光头、滴料器、集电环、抛光机外罩、电加热温度调节装置等。抛光时,抛光盘转速为50~120r/m...
金洙吉
苑泽伟
康仁科
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