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董伯先

作品数：5 被引量：4H指数：1
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇抛光
  • 4篇金刚石
  • 4篇晶圆
  • 4篇刚石
  • 4篇大尺寸
  • 3篇抛光液
  • 2篇氯酸
  • 2篇氯酸钾
  • 2篇集电环
  • 2篇高氯酸钾
  • 2篇超精
  • 2篇超精密
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 5篇大连理工大学

作者

  • 5篇董伯先
  • 4篇苑泽伟
  • 4篇金洙吉
  • 4篇康仁科

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2009
  • 3篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法及装置
本发明属于超硬材料抛光技术领域，公开一种大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法与装置。其特征是抛光装置包括抛光机机体、抛光盘、抛光头、滴料器、集电环、抛光机外罩、电加热温度调节装置等。抛光时，抛光盘转速为50～120r/m...
金洙吉苑泽伟康仁科董伯先
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用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法
本发明属于超硬材料抛光技术领域，公开了一种用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法。其特征是采用氧化能力较强的氧化剂包括三氧化铬、过硫酸铵、高锰酸钾、重铬酸钾、双氧水、高铁酸钾、高氯酸钾等作为主要成分，加入...
金洙吉苑泽伟董伯先康仁科
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CVD金刚石膜化学机械抛光液的研制
金刚石具有优异的机械性能、热力学性能、光学性能、声学性能、半导体性能及化学惰性,作为一种全方位的多功能材料,在诸多领域具有非常广阔的应用前景。尽管CVD金刚石膜的问世缓解了天然金刚石储量极少和价格昂贵的问题,但它表面质量...
董伯先
关键词：CVD金刚石膜化学机械抛光抛光液
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用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法
本发明属于超硬材料抛光技术领域，公开了一种用于大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光的抛光液及制备方法。其特征是采用氧化能力较强的氧化剂包括三氧化铬、过硫酸铵、高锰酸钾、重铬酸钾、双氧水、高铁酸钾、高氯酸钾等作为主要成分，加入...
金洙吉苑泽伟董伯先康仁科
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大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法及装置
本发明属于超硬材料抛光技术领域，公开一种大尺寸金刚石晶圆超精密低损伤抛光方法与装置。其特征是抛光装置包括抛光机机体、抛光盘、抛光头、滴料器、集电环、抛光机外罩、电加热温度调节装置等。抛光时，抛光盘转速为50～120r/m...
金洙吉苑泽伟康仁科董伯先
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