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赵月月
作品数:
1
被引量:10
H指数:1
供职机构:
北京科技大学计算机与通信工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
付博
北京理工大学
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微光机电系统
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付博
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赵月月
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2004
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微光机电系统(MOEMS)研究综述
被引量:10
2004年
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景。
付博
赵月月
关键词:
MOEMS
微光机电系统
光学器件
光学系统
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