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赵月月

作品数:1 被引量:10H指数:1
供职机构:北京科技大学计算机与通信工程学院更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微光机电系统
  • 1篇微机电系统
  • 1篇机电系统
  • 1篇光机
  • 1篇光机电
  • 1篇光学
  • 1篇光学器件
  • 1篇光学系统
  • 1篇MEMS
  • 1篇MOEMS
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇北京科技大学
  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇付博
  • 1篇赵月月

传媒

  • 1篇传感器世界

年份

  • 1篇2004
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微光机电系统(MOEMS)研究综述被引量:10
2004年
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(MOEMS)。作为一个新兴的多学科交叉的研究领域,其也成为了光学器件发展的新方向。本文阐述了MOEMS基本理论、方法;介绍了MOEMS技术在国内外的发展现状及这一技术最新取得的进展;分析了光学系统中引入MEMS的重要性;列举了一些有代表性的MOEMS器件,并介绍了它们的制作过程以及它们与其它常规器件相比的性能优势;最后描绘了MOEMS技术的发展前景。
付博赵月月
关键词:MOEMS微光机电系统光学器件光学系统
共1页<1>
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