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文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇孔径
  • 4篇孔径大小
  • 3篇导流
  • 3篇淀积
  • 3篇气相沉积
  • 3篇气相淀积
  • 3篇墙结构
  • 3篇外管
  • 3篇外延片
  • 3篇进气
  • 3篇进气管
  • 3篇均匀性
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 3篇化学气相淀积
  • 3篇寄生
  • 3篇壁面
  • 3篇出气
  • 2篇电池
  • 2篇太阳能电池

机构

  • 11篇中国科学院

作者

  • 11篇邱凯
  • 9篇王国斌
  • 9篇张永红
  • 9篇朱建军
  • 5篇杨辉
  • 5篇张宝顺
  • 3篇王怀兵
  • 2篇李晓伟
  • 2篇邢政
  • 2篇王荣新
  • 2篇张晓东
  • 1篇董健荣
  • 1篇周桃飞

传媒

  • 1篇2010(第...

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 5篇2011
  • 3篇2010
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种垂直喷淋式MOCVD反应器
本发明揭示了一种垂直喷淋式MOCVD反应器,包括反应室、设于反应室顶部的喷淋头及其冷却水进、出口、设于反应室底部的衬底托、加热器及出气口,用于输入反应气体的进气口设于喷淋头之内,其特点是喷淋头腔体相隔形成三个以上独立区域...
王国斌张永红王怀兵邱凯朱建军张宝顺杨辉
文献传递
一种薄膜太阳能电池及其制备方法
本发明公开了一种薄膜太阳能电池,包括具有光伏单元的外延片,以及覆盖复合于外延片两侧的前电极及背电极,光伏单元为薄膜结构的PN结或PIN结,前电极为透明导电薄膜或具图形结构的多层金属薄膜,太阳能电池在其朝向太阳辐照的一侧具...
王荣新邢政邱凯张晓东李晓伟张宝顺杨辉
文献传递
用于均匀出气的气体分配器
本发明涉及一种用于均匀出气的气体分配器,其一般设置在化学气相淀积设备上的进气段,用来为反应室提供均匀一致的进气。该气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔,所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依次固...
王国斌邱凯朱建军张永红
文献传递
用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
本发明涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构,包括设置于外管内腔中的内管,内、外管之间留有均匀间隙,该间隙与设置在外管上的进气口连通,内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构,其中每一气隙结构包括沿周...
王国斌朱建军邱凯张永红
用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构,包括设置于外管内腔中的内管,内、外管之间留有均匀间隙,该间隙与设置在外管上的进气口连通,内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构,其中每一气隙结构包括...
王国斌朱建军邱凯张永红
文献传递
用于均匀出气的气体分配器
本实用新型涉及一种用于均匀出气的气体分配器,其一般设置在化学气相淀积设备上的进气段,用来为反应室提供均匀一致的进气。该气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔,所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依...
王国斌邱凯朱建军张永红
文献传递
用于均匀出气的气体分配器
本发明涉及一种用于均匀出气的气体分配器,其一般设置在化学气相淀积设备上的进气段,用来为反应室提供均匀一致的进气。该气体分配器包括相互连通的至少一路进气管和二个以上密闭气体分配腔,所述进气管和气体分配腔沿气流运行方向依次固...
王国斌邱凯朱建军张永红
宽光谱太阳能电池的抗反膜设计
太阳能电池作为绿色环保的可再生能源已成为人们的关注的焦点。如何提高电池转换效率是目前面临的主要研究难题之一。当太阳光照射在半导体材料表面时,其表面对入射太阳光有很高的表面反射,图1显示了以AIInP为窗口材料的GaInP...
王荣新杨辉邢政邱凯张晓东李晓伟董健荣路书龙周桃飞张宝顺
用于CVD反应器的进气装置
本发明揭示了一种用于CVD反应器的进气装置,包括呈径向闭合的气体分配管及一体贯通的一路以上进气管,且该气体分配管朝向其所围裹的空间平面中心设有复数个气体喷射孔,且各喷射孔的开设角度相对于其向心角度朝基片偏移。通过调整气体...
邱凯王国斌张永红王怀兵朱建军张宝顺杨辉
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用于化学气相沉积设备中的气体墙结构
本发明涉及一种用于化学气相沉积设备中的气体墙结构,包括设置于外管内腔中的内管,内、外管之间留有均匀间隙,该间隙与设置在外管上的进气口连通,内管上沿轴向分布多个连通内管内腔和上述均匀间隙的气隙结构,其中每一气隙结构包括沿周...
王国斌朱建军邱凯张永红
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