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钟真武
作品数:
70
被引量:30
H指数:3
供职机构:
江苏中能硅业科技发展有限公司
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发文基金:
国家自然科学基金
山东省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
陈其国
江苏中能硅业科技发展有限公司
陈文龙
江苏中能硅业科技发展有限公司
崔树玉
江苏中能硅业科技发展有限公司
蒋文武
江苏中能硅业科技发展有限公司
罗军
中国科学院上海硅酸盐研究所
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12篇
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山东大学
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南京大学
作者
70篇
钟真武
31篇
陈其国
24篇
陈文龙
14篇
蒋文武
14篇
崔树玉
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罗军
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江宏富
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吴锋
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刘逸枫
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王小军
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蒋立民
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王锦昌
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钱国兴
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于伟华
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徐家跃
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6篇
2012
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2011
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2010
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2009
1篇
2003
1篇
2002
3篇
2001
10篇
2000
1篇
1997
共
70
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一种多晶硅的生产工艺
本发明公开了一种多晶硅的生产工艺,它是通过向2个以上串联的反应器中通入包括氢气和含硅气体的混合气体作为原料气,在所述反应器中,所述原料气发生反应,通过化学气相沉积生产多晶硅的工艺,通过调节作为原料气的所述氢气的进气量M,...
陈其国
钟真武
陈文龙
YCOB晶体生长与激光倍频性能研究
被引量:3
2002年
坩埚下降法沿<010>和<001>方向生长了直径达到25mm的完整透明的Ca4YO(BO3)3 (YCOB)晶体.化学腐蚀结果表明,所生长晶体无孪晶或亚晶界等缺陷,晶体尾部的位错密度 不超过1800/cm2测量了YCOB的透射光谱,其截止波长为200nm进行了YCOB晶体对 Nd:YAG激光的二次倍频实验.通过与KDP晶体对比,计算出YCOB晶体的有效非线性系数 在Ⅰ型相位匹配方向(θ,φ)=(66.3°,143.5°)和(65.9°,36.5°)上分别为1.45pm/V和0.91pm/V; 大于KDP和 LBO晶体.在脉冲宽度10ns的 Nd:YAG激光单脉冲辐射下YCOB晶体出现体 损伤的激光损伤阈值不低于85GW/cm2.
罗军
钱世雄
范世
王锦昌
钟真武
徐家跃
关键词:
YCOB
晶体生长
坩埚下降法
激光损伤阈值
流化床反应器及其用于制备高纯粒状多晶硅的方法
本发明公开了一种流化床反应器及其用于制备高纯粒状多晶硅的方法,包括反应管、分布器和加热装置,所述反应管和位于反应管底部的分布器构成反应室,所述分布器设有气体进口和产品出口,所述反应管顶部或上部设有尾气出口和籽晶进料口,其...
蒋文武
江宏富
吴锋
钟真武
陈文龙
文献传递
用于生产多晶硅的反应器
本发明公开了一种用于生产多晶硅的反应器,其包括含有冷却设施的炉筒、底盘、以及位于所述底盘上的电极、原料进气口和排气口,其特征在于除了最外部靠近炉筒的电极外,每个电极在150mm~300mm处具有四个或五个其他的相邻电极和...
江宏富
钟真武
陈文龙
王小军
吴锋
陈其国
文献传递
一种气体压缩机的状态分析监测方法
本发明公开了气体压缩机的状态分析监测系统,包括气体压力传感器、温度传感器、信号调理器、机油压力传感器、振动传感器、测振仪、数据采集卡、显示器、计算机。本发明还公开了一种气体压缩机的状态分析监测方法,将气体监测输入计算机,...
陈凤腾
钟真武
陈其国
胡志强
李惠娟
文献传递
氢等离子体辅助制造多晶硅的系统和方法
本发明公开了一种利用氢等离子体生产多晶硅的系统和方法,该方法采用二氯甲硅烷、三氯甲硅烷和四氯化硅中的一种或几种为原料气体,并采用氢气作为还原气体,或另外添加氦气、氖气、氩气及氪气中的一种或几种作为辅助气体,与原料气体混合...
陈涵斌
钟真武
陈其国
陈文龙
王小军
王燕
GdCOB晶体的Bridgman法生长、缺陷和性能研究
以Ca<,4>GdO(BO<,3>)<,3>(GdCOB)为代表的ReCOB(Re:稀土)系列晶体,至今已成为非线性光学材料领域的研究热点之一.GdCOB晶体透光范围宽,具有较大的非线性系数,小的离散角和大的允许角,且理...
钟真武
关键词:
非线性光学晶体
坩埚下降法
光学性能
文献传递
一种多晶硅制备方法
本发明公开了一种多晶硅的制备方法,其包括在还原炉反应器内,原料三氯氢硅与高纯氢气在1050-1250℃高温、0~0.8MPa条件下发生化学气相沉积反应,并在发热的硅芯表面沉积多晶硅的步骤,其特征在于所述化学气相沉积过程中...
江宏富
钟真武
文献传递
磁控溅射镀膜装置及镀膜方法
本发明公开了一种磁控溅射镀膜装置及镀膜方法,包括镀膜设备主体、机架平台、挡板、冷却设施及泵组,所述镀膜设备主体包含套筒,至少一个离子源和至少一个阴极被固定在套筒上,所述镀膜设备主体的套筒与位于其外部的待镀机构之间形成密闭...
钟真武
于伟华
郄丽曼
GCL法多晶硅生产方法
本发明提供了一种GCL法多晶硅生产方法,也称为闭环式多晶硅生产方法,其包括氯氢化步骤、反歧化步骤、还原/循环步骤和纯化步骤,其中所述纯化步骤将来自其他步骤的供料分离为四氯化硅、二氯二氢硅和三氯氢硅,并将其循环返回至这些其...
蒋文武
崔树玉
蒋立民
李力
钟真武
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