钟鹏飞
- 作品数：17 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：机械工程理学核科学技术一般工业技术更多>>
- 不同材料滤片对13～43nm高次谐波的抑制(英文)被引量：3
- 2007年
- 国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线( U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已经建成的光束线,要改变光学设计和现有结构来抑制高次谐波是困难的,最简单且有效的方法是用不同材料的滤片来抑制不同波段的高次谐波。为了研究高次谐波的抑制效果,可将840 l/ mm透射光栅放在U27光束线SGM分支的出射狭缝后面色散出射光,用探测器做角度扫描记录下信号强度曲线,然后分析得到高次谐波的含量和分布。本文分别研究了不同厚度的Al(200、400和600 nm)、Si3N4/ Mo/Si , Si3N4/ Mo/Si/ Mo/Si多层膜滤片(100/50/200 nm, 100/50/150/150/250 nm)和Al/ Mg/Al滤片对13 ～43 nm光谱高次谐波的抑制效果。研究结果显示,400 nm厚的Al滤片适合于17～33 nm光谱高次谐波的抑制,在保证探测器信号强度的条件下,高次谐波信号强度占探测器信号强度的比例<2 %,经探测器量子效率修正后,高次谐波比例<0 .6 %。Si3N4/ Mo/Si/ Mo/Si多层膜滤片可以有效地抑制13 ～19 nm的高次谐波,Al/ Mg/Al滤片对30 ～43 nm的高次谐波有很好的抑制作用。这一结果为光学元件的透射率、反射率和探测器精确定标奠定了基础。
- 周洪军钟鹏飞霍同林郑津津张国斌戚泽明
- 真空系统设计的程序实现
- 随着航天和空间科学的发展及真空在原子能科学和表面物理、微电子学等学科中的应用,真空系统设计计算等应用越来越普遍。在真空系统设计中,流导的计算一般采用手工计算。流导与气流状态和管道形状密切相关,一般要先确定气体流态,再根据...
- 周洪军钟鹏飞郑津津霍同林
- 关键词：真空系统流导差分
- 文献传递
- 光学元件清洗过程中同步辐射活化氧的研究(英文)被引量：2
- 2007年
- 在同步辐射应用中,光学元件被污染是一个常见问题,而光学元件的污染会造成光通量的极大损失。为了有效地清洗光学元件,研究了清洗过程中的光化学反应,进行了氧气在同步辐射光作用下分解的实验。通过对实验中产生的气体成份分析,进行光化学反应研究。首先,测量通氧气时的气体成份;然后,测量通氧气和同步辐射光照时的气体成份。通过两者比较,分析氧气分解的情况。实验结果表明,氧分子在同步辐射光作用下发生分解,产生质量数为16的氧原子、氧离子和质量数为48的臭氧,它们的成份分别占1 %和0 .005 %～0 .01 %。
- 钟鹏飞周洪军霍同林张国斌郑津津
- 关键词：氧原子臭氧
- 玻璃毛细管阵列传输效率与真空差分性能研究
- 2009年
- 玻璃毛细管由于它的通光性和真空差分性能被越来越广泛应用于同步辐射光束线中.为了更好地了解毛细管阵列的性能,利用国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U26)研究了不同长度和直径比的玻璃毛细管阵列对VUV和软X射线传输效率,并利用该站电离室部分研究了真空差分性能.给出了实验数据.直径实测为134μm,长度分别为7 mm(L/D=52.2)和19 mm(L/D=141.8)的玻璃毛细管阵列,当光束垂直于截面入射时,其理论计算传输效率都为61%,而实验测得的值分别为44%和24%左右.当低真空端气体压强设为120 Pa时,通过玻璃毛细管阵列后,用TMP110机组抽气时,高真空端真空度为7.6×10-2Pa,其真空差分能力达到1.6×103倍.
- 蒋新亭周洪军霍同林郑津津钟鹏飞
- 不同材料滤片对13～43nm高次谐波的抑制（英文）
- 国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的。为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度。对于已经建成的光束线,...
- 周洪军钟鹏飞霍同林郑津津张国斌戚泽明
- 文献传递
- Ar在4．5～12nm光电离截面的测量
- 2007年
- 利用双收集板电离室作为吸收池研究了Ar在4．5～12nm波段的吸收截面．在5～12nm波段间，实验测得的光电离截面的相对误差范围在±10％以内，与West和Samson等的测量结果有很好的可比性．
- 霍同林周洪军钟鹏飞蒋新亭
- 关键词：AR光电离截面
- 同步辐射活化氧清洗碳污染的研究被引量：6
- 2010年
- 利用自行设计的实验装置,研究了同步辐射光活化氧对光学元件表面碳污染的清洗作用。清洗前样品的碳层厚度为10.3 nm,同步辐射光被引入实验用真空室内,真空室内干燥氧气的压强维持在1.0 Pa,研究显示同步辐射活化氧能有效地清除硅片表面的石墨型碳层。通过测试清洗前后碳膜的反射率和使用IMD软件对清洗后硅片反射率的拟合,可得碳层的去除率为1.75 nm/h。
- 周洪军钟鹏飞霍同林蒋新亭郑津津
- 光学元件清洗过程中同步辐射活化氧的研究
- 在同步辐射应用中,光学元件被污染是一个常见问题,而光学元件的污染会造成光通量的极大损失.为了有效地清洗光学元件,研究了清洗过程中的光化学反应,进行了氧气在同步辐射光作用下分解的实验。通过对实验中产生的气体成份分析,进行光...
- 钟鹏飞周洪军霍同林张国斌郑津津
- 关键词：氧原子臭氧光学元件
- 文献传递
- 同步辐射活化氧清洗光学元件研究
- 2007年
- 利用自行研制的真空清洗装置连接到同步辐射光束线上开展了同步辐射光活化氧清洗碳污染光学元件的研究.引入同步辐射光到冲入氧气的清洗真空室,使氧气电离而生成臭氧.臭氧具有很强的氧化性.光学元件表面的碳污染物在同步辐射光和臭氧的共同作用下,发生化学反应,生成CO2等气态物质.CO2等通过真空泵抽除,进而达到清洗的目的.文中给出了实验结果.
- 周洪军钟鹏飞霍同林郑津津张国斌
- 关键词：光学元件
- 不同材料滤片对13～43 nm高次谐波的抑制
- 国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线(U27)的SGM分支是专门为光学元件性能测试和探测器定标而建造的.为了能够精确测量光学元件在极紫外和软X射线波段的性能,必须充分抑制高次谐波提高光谱纯度.对于已经建成的光束线,...
- 周洪军钟鹏飞霍同林郑津津张国斌戚泽明
- 文献传递
