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陈立群

作品数：8 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 4篇光刻
  • 3篇光束
  • 2篇照明
  • 2篇照明模式
  • 2篇照明系统
  • 2篇数值孔径
  • 2篇探测器
  • 2篇探测器阵列
  • 2篇投影光刻
  • 2篇投影光刻系统
  • 2篇透镜
  • 2篇透镜阵列
  • 2篇伽马射线
  • 2篇狭缝
  • 2篇相位延迟
  • 2篇激光
  • 2篇激光输出
  • 2篇光刻机
  • 2篇光刻系统
  • 2篇光输出

机构

  • 8篇中国科学院上...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 8篇陈立群
  • 7篇曾爱军
  • 6篇黄惠杰
  • 3篇张运波
  • 3篇王莹
  • 2篇方瑞芳
  • 2篇陈明星
  • 2篇沈百飞
  • 2篇齐红基
  • 1篇金雷
  • 1篇鲁远甫
  • 1篇杨珺
  • 1篇龚小竞
  • 1篇于文龙
  • 1篇高飞
  • 1篇张艳东
  • 1篇刘文权
  • 1篇冯广智
  • 1篇陈立群
  • 1篇李顺

传媒

  • 1篇红外与毫米波...

年份

  • 4篇2015
  • 4篇2013
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
步进扫描投影光刻机的照明系统
一种步进扫描投影光刻机的照明系统，沿光束传播方向，其构成包括光源、光瞳整形单元、视场定义单元、第一透镜阵列、第一狭缝阵列、第二透镜阵列、第三透镜阵列、第二狭缝阵列、第四透镜阵列、聚光镜和扫描驱动单元。本发明降低了透镜加工...
曾爱军陈立群方瑞芳黄惠杰
文献传递
改变光束偏振方向二维分布的装置
一种改变光束偏振方向二维分布的装置，其特点在于其构成包括沿入射光束方向依次是起偏器、四分之一波片和反射式空间光调制器，该反射式空间光调制器的控制端与控制器的输出端相连，入射光束通过所述的起偏器起偏后形成线偏振光，该线偏振...
张运波曾爱军陈立群王莹黄惠杰
文献传递
产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
文献传递
超快伽马射线能谱仪
一种超快伽马射线能谱仪，包括闪烁晶体阵列、光导阵列、探测器阵列和分析器；沿伽马射线的入射方向，依次放置的所述的闪烁晶体阵列、光导阵列和探测器阵列，该探测器阵列的输出端与所述的分析器的输入端相连。本发明通过每根闪烁晶体与其...
沈百飞齐红基陈立群曾爱军李顺
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产生投影光刻照明模式的装置
一种用于高数值孔径投影光刻系统的产生投影光刻照明模式的装置，其构成包括激光源，沿该激光源激光输出方向依次是扩束器、起偏器、第一四分之一波片、相位延迟器阵列、第二四分之一波片、微镜阵列、傅里叶透镜，所述的相位延迟器阵列的相...
张运波曾爱军陈明星陈立群王莹黄惠杰
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一种利用透射式太赫兹时域光谱技术精确提取样品折射率的方法被引量：7
2013年
运用透射式太赫兹时域光谱技术提取可区分回波样品折射率,主要依靠测得信号的相位差计算得到.具体有两种方法:一是利用参考脉冲和太赫兹波第一次透过样品的脉冲信号,二是利用太赫兹波第一次透过样品的脉冲信号和经样品内部反射两次后的第二个透射信号.实际操作中入射光束与样品表面法线存在夹角,该夹角不易测量,计算时通常忽略,这会最终引起折射率的测量误差,且该误差与选用的折射率提取方法有关.在分析两种方法因夹角引起误差的基础上,提出一种全新的折射率修正方法,该方法能从理论上消除夹角引起的误差,同时实验验证了该方法的有效性.
陈立群陈立群高飞龚小竞杨珺鲁远甫刘文权冯广智张艳东金雷
关键词：太赫兹折射率时域光谱
基于闪烁光纤阵列的超快伽马射线能谱测量仪
一种基于闪烁光纤阵列的超快伽马射线能谱测量仪，包括沿超快伽马射线的入射方向依次放置的闪烁光纤阵列和探测器阵列，该探测器阵列的输出端与分析器的输入端相连。本发明通过每根闪烁光纤与其对应的探测器构成各自独立的超快伽马射线的探...
曾爱军陈立群沈百飞齐红基黄惠杰
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步进扫描投影光刻机的照明系统
一种步进扫描投影光刻机的照明系统，沿光束传播方向，其构成包括光源、光瞳整形单元、视场定义单元、第一透镜阵列、第一狭缝阵列、第二透镜阵列、第三透镜阵列、第二狭缝阵列、第四透镜阵列、聚光镜和扫描驱动单元。本发明降低了透镜加工...
曾爱军陈立群方瑞芳黄惠杰
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