马斌
- 作品数：57 被引量：76H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金中国博士后科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信建筑科学交通运输工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于热电堆结构的微型热传导真空传感器被引量：2
- 2009年
- 本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器。该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序。器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜架空结构,其上制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用加热器对复合薄膜加热,在不同的真空状态下,薄膜呈现不同温度,温度值由热电堆转换为温差电动势输出。本文在以下方面进行详细描述:1.器件的结构设计和制造工艺;2.器件的稳态和瞬态有限元分析;3.测试结果与理论分析的对照。结果表明,在加热器1.5V恒压驱动条件下,器件的气压敏感范围为0.1Pa^105Pa(空气),此时热电堆输出电压范围为26mV^50mV,最大响应时间预计为1.4ms。
- 马斌梁平治陈世军程正喜
- 关键词：热电堆微机电系统四甲基氢氧化铵有限元分析
- 电阻阵动态红外景象投射器单元电路研究被引量：8
- 2006年
- 研究了电阻阵动态红外景象投射器的单元驱动电路特性,特别对辐射体的部分电学和热学特性进行了定量的测量和计算;同时采用热点耦合的方法分析了两种比较典型的单元驱动结构,并对结果进行了实际验证。
- 肖云鹏马斌梁平治
- 关键词：单元电路
- 用于海洋水色扫描仪的硅光电探测器组件
- 本文采用微型滤光片与硅探测器直接耦合的方式,研制了5×4元和3×4元两种多波段硅探测器组件.组件可探测412～865nm八个波段,带宽分别为20和40nm.由于采用了短波增强,提高近红外波段响应率和响应速度,降低暗电流,...
- 江美玲丁爱娣张学敏冯晓梅马斌梁平治
- 关键词：串音
- 低温大功率电阻阵列封装设计与仿真分析
- 2017年
- 电阻阵列探测器规模已经达到256×256,红外景象生成器要求像素规模能够进一步提高,达到512×512及以上。空间低温动态场景模拟用512×512电阻阵探测器的极端功耗高达500 W,并且其工作温度为100K的低温。设计了低温大功率电阻阵列的封装结构,并对该结构进行了热力学仿真分析与实验验证。电阻阵列探测器封装在内部为真空的壳体内,以液氮为循环介质的大冷量换热装置,探测器安装在换热装置的冷端上。仿真分析表明通过液氮可以实现探测器低于100K的制冷;采用试验件对制冷性能进行了验证,验证结果表明设计可行、合理。
- 刘大福徐勤飞莫德锋马斌徐琳蒋梦蝶陆华杰
- 关键词：电阻阵列低温制冷大功率
- 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
- 本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层，采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化；采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层，使牺牲层成形；在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后，将基底置于干冰液体...
- 翟厚明马斌程正喜张学敏
- 一种小视场红外目标仿真光学系统
- 本发明公开了一种小视场长波红外目标仿真光学系统，其特征包括红外电阻阵列景象生成红模块和长波红外目标准直防真系统，具体由一红外图像显示用电阻阵列模块、长工作距离小视场长波红外折叠光学系统，光学系统出瞳组成，其中，可调节式折...
- 吕银环张涛马文超黄迁童广辉崔文楠马斌
- 文献传递
- 一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法
- 本发明公开了一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法，微镜结构包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接...
- 程正喜徐鹤靓陈永平马斌
- 混成式三维神经元探针阵列
- 本发明公开了一种混成式三维神经元探针阵列，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座...
- 程正喜庄佚溦张学敏翟厚明施永明马斌
- 文献传递
- 一种混成式三维神经元探针阵列结构
- 本专利公开了一种混成式三维神经元探针阵列结构，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针...
- 程正喜庄佚溦张学敏翟厚明施永明马斌
- 文献传递
- 国产MOS电阻阵列动态红外景像产生器新进展
- 为满足国内军用红外仿真系统的需求,研制了单片式高帧频256×256电阻阵列器件和混成式高占空比128×128电阻阵列器件。介绍了研制目标、技术实现途径、器件主要结构、性能仿真结果和最新进展。单片式256×256器件采用商...
- 马斌程正喜刘强
- 关键词：电阻阵列标准CMOS工艺
- 文献传递
