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吕风杰

作品数：4 被引量：1H指数：1
供职机构：山东大学控制科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇电子束曝光
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇对准标记
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇数据转换
  • 1篇图形发生器
  • 1篇曝光机
  • 1篇最优解
  • 1篇像差
  • 1篇像散
  • 1篇控制器
  • 1篇二次电子
  • 1篇非劣解
  • 1篇TMS320...
  • 1篇AUTOCA...
  • 1篇DSP
  • 1篇DXF文件
  • 1篇参量

机构

  • 4篇山东大学

作者

  • 4篇吕风杰
  • 2篇吴艳平
  • 2篇张玉林
  • 2篇郝慧娟
  • 1篇尹明
  • 1篇张其武

传媒

  • 2篇第十二届全国...
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
  • 2篇2003
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于DSP的电子束曝光机图形发生器控制器
可编程DSP芯片是一种具有特殊结构的微处理器,为了达到快速进行数字信号处理的目的,DSP芯片一般采用哈佛结构、流水线操作功能、单周期完成乘法的硬件乘法器、以及一套适合数字信号处理的指令集.由于DSP具有这样的特点,因此适...
吴艳平张玉林郝慧娟吕风杰
关键词：电子束曝光机图形发生器DSPTMS320VC33
文献传递
细电子束像差与畸变参量非劣解中的最优解被引量：1
2005年
以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解。以SDS 3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系。并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式。应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正。
尹明吕风杰张其武
关键词：电子束像差像散
AutoCAD文件到电子束曝光数据的转换
本文介绍了将AutoCAD产生的DXF文件数据转换为逐点式电子束机专用曝光数据DY51格式的主要算法及程序流程.
郝慧娟张玉林吴艳平吕风杰
关键词：AUTOCADDXF文件数据转换电子束曝光
文献传递
扫描电子显微镜数字化显像的研究
扫描电镜是一种能够对表面微观世界进行全面分析的多功能的电子光学仪器.广泛应用于现代生物学、医学、地质学、材料科学和半导体技术等各个学科领域.本课题的主要任务是对DX-3型扫描电镜进行数字化改造,使其能够与计算机系统联机,...
吕风杰
关键词：扫描电镜二次电子对准标记
文献传递
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