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安康

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：华中理工大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇定位器
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻伺服盘
  • 1篇磁盘

机构

  • 1篇华中理工大学

作者

  • 1篇张江陵
  • 1篇安康
  • 1篇袁智敏

传媒

  • 1篇微电子测试

年份

  • 1篇1995
共 2 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光刻伺服盘两级定位器测试系统研究
1995年
本文从理论上对圆光栅的特性进行了分析及计算,设计出了光刻伺服磁盘两级定位系统位置传感器的执行机构,并采用AMS—200A型人射光干涉显微镜构成磁盘两级定位器定位精度测量系统,通过计算磁头在寻道和定道两个过程的驱动指令运行时间的总和来得到磁盘的平均找道时间,最后通过实验得到磁盘两级定位系统在平均找道时间为24.5ms时的定位精度为0.19μm。
袁智敏张江陵安康
关键词：磁盘光刻伺服盘
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共1页<1>
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