庞滔
- 作品数：10 被引量：13H指数：1
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程更多>>
- 软脆电子材料准接触抛光的表面质量与精度
- 1992年
- 1 前言 随着电子工业的迅速发展,性能优异的新型电子材料不断出现,例如GaAs、InP等材料。它们在制作小功率、高频、高温、低温、光电、微波器件和集成电路等许多领域中,与传统的硅、锗等材料相比,具有无可比拟的优良特性。作为光纤通讯材料,它们的传输损耗小,色散小,对锗探测器具有最大敏感区域。在做光电池时。
- 庞滔毛克良齐世恩肖克南
- 关键词：电子材料抛光
- 软脆电子材料InP超精密加工的研究(Ⅰ)——准接触抛光
- 庞滔毛克良齐世恩
- 关键词：超精加工抛光电子材料不平度测量表面粗糙率
- 新陶瓷材料的砂轮电解镜面磨削被引量：1
- 1994年
- 使用高强度铸铁结合剂的金刚石砂轮，对新陶瓷材料进行磨削的过程中，采用对砂轮工作表面进行微电解的方法，使砂轮始终处于锋利的状态，可以获得高质量的镜面。
- 庞滔王振龙彭锡鸿庞楠
- 关键词：砂轮电解磨削镜面磨削
- 新陶瓷材料的砂轮电解镜面磨削
- 1996年
- 庞滔王振龙
- 关键词：陶瓷硬脆材料砂轮磨削镜面磨削电解
- 关于硬磁盘基片化学镀Ni-P薄膜层超精密研磨的研究
- 庞滔董申郭大春
- 关键词：磁盘超精加工化学镀
- 新原理超精密研磨技术被引量：1
- 1990年
- 最新的技术发展已对精密零件提出了新的要求。在电子工业、激光等领域需要不断提高零件尺寸和形状精度以及晶体结晶的完整性。对于集成电路基板的硅片,要达到1～2nm的粗糙度和无损伤表面,这就要进行原子级的研磨抛光。国外一些学者对于这种微小量破坏的可能性进行了探讨,提出了几种用新的原理进行超精密研磨的方法,简单介绍给作者。
- 刘福君庞滔董申
- 关键词：研磨
- 软脆电子材料InP超精密加工的研究(Ⅱ)——准接触抛光中的抛光液
- 庞滔毛克良齐世恩
- 关键词：电子材料抛光研磨膏
- 光纤多参量传感器的现状与发展
- 了光纤多参量传感器的三种工作原理：光纤布拉格光栅(FBG)和/或法布里珀罗(EP)干涉腔光纤多参量传感器；椭圆纤芯光纤多参量传感器；神经网络光纤多参量传感器。给出了在军事、航天飞行器等领域的应用。讨论了光纤多参量传感器的...
- 李鹏生孙正鼐强锡富庞滔
- 关键词：光纤传感器
- 模具型腔复合光整加工工艺的研究被引量：11
- 2001年
- 针对目前模具光整加工中难以实现高精度、高效率加工的实际问题 ,将电解加工、机械研磨及超声加工相复合 ,提出了一种新型的光整加工技术———电化学超精密研磨技术。此技术对模具型腔高效镜面加工的试验表明 :选配适当工艺参数进行光整加工 ,可以获得表面粗糙度Ra0 .0 2 5 μm镜面 ,效率较普通研磨提高 10倍以上。
- 曹国辉庞滔赵万生
- 关键词：模具型腔电解研磨光整加工
- 石英片的超精加工
- 袁巨龙庞滔董申
- 关键词：石英超精加工抛光
