康宝鹏
- 作品数：11 被引量：3H指数：1
- 供职机构：上海微小卫星工程中心更多>>
- 相关领域：电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 一种深沟道隔离槽的制备方法
- 本发明针对MEMS技术中机械连接但是电绝缘的需求，公开了一种深沟道隔离槽的制备方法。该方法步骤：抛光硅片；光刻；DRIE形成深沟槽2，所述深沟槽2为等腰倒梯形，槽侧壁与竖直方向夹角θ满足1°≤θ≤5°；氧清洗；在深沟槽2...
- 李晓莹李光涛乔大勇任森张艳飞康宝鹏
- 文献传递
- 基于FPGA的嵌入式立方星星务计算机及其重构方法
- 本发明提供了一种基于FPGA的嵌入式立方星星务计算机，包括处理芯片，所述处理芯片集成有FPGA硬核、FPGA逻辑单元以及CPU内核；所述FPGA硬核用于与外围电路以及立方星的各分系统进行通信；所述FPGA逻辑单元用于对所...
- 陈雯雯吴树范陈雯李昭康宝鹏
- 文献传递
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了以一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 一种微小卫星的微推进器芯片
- 本发明涉及一种微小卫星的微推进器芯片，包括加热腔(3)，其特征在于，所述加热腔(3)内设有加热丝(5)，所述加热腔(3)壁上设有引出孔(17)使所述加热丝(5)的两端从所述加热腔(3)引出至所述加热腔(3)外。
- 康宝鹏李昭赵学聪张传鑫吴树范陈雯
- 文献传递
- MEMS冷气推力器的制作和热性能研究被引量：1
- 2017年
- 为了研究MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)冷气推力器的热性能,介绍了一种MEMS冷气推力器的设计和制作,该推力器体积小(40mm×20mm×1mm),重量轻(1g),功耗低。对推力器加热丝不同电压和环境下进行了热仿真,对组装到电路板上的推力器模块进行了热测试。结果表明:常温常压下,8V的驱动电压,经过230s后,推力器加热丝的温度可达到80℃以上,与仿真结果趋势相同,可预见真空中,8V电压下可满足推进剂对加热腔温度的需求。
- 康宝鹏赵学聪乔大勇马志波李昭吴树范张传鑫
- 关键词：MEMS微推力器热特性
- 用于沟道填充的新型沟道隔离槽
- 本发明公开了一种用于沟道填充的新型矩形沟道隔离槽，属于微机电系统(MEMS)和微加工技术。本发明提出的沟道隔离槽，内壁面上任意一点到外壁面距离均不大于d，d为沟道隔离槽宽度。满足上述技术特征的沟道隔离槽具体形式多样，本发...
- 乔大勇史龙飞刘耀波康宝鹏杨璇梁晓伟夏长峰
- 文献传递
- 一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法
- 本发明公开了一种基于SOI硅片的窄沟道隔离槽刻蚀至氧化层的检测结构及检测方法，属于微光机电(MOEMS)器件领域。该检测结构包括若干测试单元2，其中一个测试单元2位于布有器件的SOI硅片的中心放置，其余测试单元2周向分布...
- 乔大勇杨璇刘耀波康宝鹏燕斌
- 文献传递
- 微纳卫星陀螺阵列系统信息融合被引量：2
- 2019年
- 为了实现微纳卫星MEMS陀螺动态在线滤波,对MEMS陀螺阵列建模,设计可应用于动态过程的最优在线数据融合算法,建立陀螺阵列测试系统,并对融合滤波的陀螺系统的性能对比分析。首先,建立多个陀螺的量测模型。接着基于信息融合模型,使用Kalman滤波算法,对预测的协方差矩阵进无求逆运算迭代;然后,基于误差估计,对动态时变信号滤波模型建模,并给出了融合滤波方法;最后,搭建6个MEMS陀螺在线滤波系统,验证该算法的有效性。实验结果表明:滤波误差可降低为单陀螺采样误差的1/15,精度提高一个数量级;运算量相比层序式滤波减少为1/4,计算时间减少为1/3。本文所提算法在提高精度的基础上,显著提高了MEMS陀螺系统的性能指标,拓展了MEMS陀螺在微纳卫星的应用范围。
- 陈雯雯刘洋高海云孙国文李昭康宝鹏
- 关键词：数据融合时变信号
- 一种深沟道隔离槽的制备方法
- 本发明针对MEMS技术中机械连接但是电绝缘的需求，公开了一种深沟道隔离槽的制备方法。该方法步骤：抛光硅片；光刻；DRIE形成深沟槽2，所述深沟槽2为等腰倒梯形，槽侧壁与竖直方向夹角θ满足1°≤θ≤5°；氧清洗；在深沟槽2...
- 李晓莹李光涛乔大勇任森张艳飞康宝鹏
