张鹏云
- 作品数：24 被引量：49H指数：4
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金通信与信息系统北京市重点实验室资助项目中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术机械工程电子电信更多>>
- 射频等离子体中尘埃空洞演化研究
- 2012年
- 本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气。在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞。通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因。
- 李玉洁张鹏云杜玉翠
- 尘埃颗粒与等离子体鞘层相互作用的数值模拟被引量：4
- 2008年
- 通过求解一维稳态的尘埃等离子体鞘层模型,得到了等离子体鞘层势、正离子密度、电子密度和尘埃颗粒密度随一维横向的分布,Bohm判据及鞘层边界无量纲Bohm速度随尘埃密度的变化曲线,尘埃颗粒的带电量和尘埃密度的关系,尘埃颗粒的温度对尘埃颗粒自身在鞘层中分布的影响。结果表明,随着尘埃密度的增加,鞘层的厚度在减小,鞘层内的电子密度在下降,而且尘埃颗粒的带电量也在逐渐减少;随着尘埃温度的增加,鞘层的厚度减小,电子密度下降,而且鞘层附近的尘埃颗粒在逐渐增多。
- 吴静张鹏云王德真
- 关键词：鞘层密度分布
- 一种用于超高功率脉冲非平衡磁控溅射的电源方法
- 本发明公开发表了一种用于超高功率非平衡磁控溅射的电源方法，主要用于表面工程技术领域。其特征在于：采用球系开关组和脉冲形成线组控制和形成超高功率脉冲放电，实现超高功率的脉冲非平衡磁控溅射的溅射沉积；使用唯一的一个主电源系统...
- 牟宗信王振伟贾莉李国卿赵华玉张鹏云
- 文献传递
- 宏观速度对电弧螺旋不稳定性影响的数值分析
- 1998年
- 采用抛物型电导率和与时间有关的线性微扰理论，给出了有宏观速度存在的热势分布（温度分布）、稳定性条件以及不稳定性增长率等定量结果。
- 宫野张鹏云刘宇宏马腾才
- 关键词：电弧
- 一种利用驻波共振耦合电能的磁控放电方法
- 本发明公开了一种利用驻波共振耦合电能的磁控放电方法。其特征是在永磁体磁极上安置铁磁性的极靴改变阴极表面的磁场分布，在构成交叉场的磁场中磁场感应强度因在应在50mT-300mT的范围之内，电压的范围是在220-3000V之...
- 牟宗信赵华玉张鹏云贾莉郝胜智
- 文献传递
- 一种观察尘埃斑图的装置
- 本发明属于低温等离子体化学技术领域。本发明由反应生成尘埃等离子体的装置加上尘埃斑图的监控部分组成，其特征是：由激光器和光具组来照明尘埃斑图，由记录设备和计算机来存储和分析尘埃颗粒的状况，形成尘埃斑图的反应室设计成透明的圆...
- 张鹏云王华强牟宗信
- 文献传递
- 气流对电弧螺旋不稳定性的影响被引量：6
- 2002年
- 采用与时间有关的线性微扰理论 ,研究了气流作用下电弧等离子体的螺旋不稳定性 ,导出了相应方程和满足的边界条件 ,给出了临界Maecker’s数和不稳定性增长率等定量结果 .计算结果表明 ,轴向气流对电弧稳定性起重要作用 .
- 宫继全宫野刘金远张鹏云
- 关键词：电弧稳定性
- 脉冲调制射频容性耦合SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱诊断被引量：1
- 2011年
- 本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率法计算了电子激发温度,研究了占空比、调制频率、功率及气压等对电子激发温度和谱线相对强度的影响。
- 张娇张鹏云
- 关键词：脉冲调制发射光谱诊断电子激发温度
- 一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法
- 本发明属于等离子体应用领域，涉及一种用脉冲调制改善等离子体特性的方法。其特征是对电源(频率在2MHz-100MHz区间)进行脉冲调制，就是使电源电压在一段时间内输出(电源工作)，下一段时间内不输出(电源休止)，二者交替进...
- 张鹏云孙继忠王华强
- 文献传递
- 脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar^+光谱特性研究
- 2012年
- 本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa^65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律。
- 王华强张鹏云李玉洁
- 关键词：脉冲调制磁场强度电子激发温度
