杜元成
- 作品数：14 被引量：3H指数：1
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部跨世纪优秀人才培养计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 原子核与团簇相似性和差异性会议简介
- 1997年
- 首次关于原子核与团簇之间的相似性和差异性国际会议于1997年7月1日至4日在日本筑波大学举行,与会代表180余人。会上交流论文80余篇,内容涉及壳层和超壳层结构,光响应,团簇束的分裂和蒸发,碰撞,结构相变,以及高能和低能团簇束分别对固体表面的作用等。主要讨论的问题为:①原子核和团簇之间的相似性和差异性;②团簇的分裂,蒸发,碰撞;③团簇和固体表面的相互作用。
- 杜元成
- 关键词：原子核团簇
- 一种直流放电原子束源
- 本实用新型属薄膜材料制备技术领域，具体为一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。它由阴极、阳极、阴极基座、阳极法兰、阴极法兰、圆柱形石英玻璃筒和电磁铁组成。阴极法兰和阳极法兰固定于石英玻璃筒上下两端，阴极安插于阴极基座下...
- 许宁杜元成应质峰李富铭
- 文献传递
- 弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射合成ZnSe:N薄膜
- 人员用弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射方法沉积ＺｎＳｅ掺氮薄膜。溅射靶采用多晶ＺｎＳｅ片，衬底采用抛光ＧａＡｓ（１００）和Ｓｉ（１１１）片。一台弧热束源被用来分解氮气，含大量中性氮原子的出射束（１０〈’１８〉￣１０〈’１９〉...
- 许宁应质峰杜元成
- 关键词：掺杂氮掺杂金属薄膜溅射激光溅射
- 用离化团簇束方法淀积Ｃ<,60>薄膜研究
- 任忠民杜元成
- 关键词：碳簇状化合物
- 氦、氢、氮空心阴极放电的真空紫外辐射特性被引量：1
- 1992年
- 介绍了一种水冷、陶瓷封接结构的空心阴极放电装置.研究了He、H_2、N_2在120nm～20Onm范围内该装置的真空紫外辐射特性,获得了100～600mA电流范围内的辐射强度与放电电流的关系,以及充气气压变化对它的影响.实验表明:在实验条件下,主要发射谱线为氮的原子线和氦的离子线;辐射谱线强度在0.03～0.72mW·cm^(-2);气压改变时,N_2、H_2辐射强度有一极大值,而He的离子线辐射强度则出现二个极大;在He/H_2混合气体放电时,随着He的加入,氢分子带光谱有明显下降.
- 赵衍盛姚晓邬胡谊梅孙迭篪李富铭杜元成王海
- 关键词：空心阴极
- 钨在硅和氮化钛上的激光化学汽相沉积实验研究被引量：1
- 1990年
- 本文介绍了用激光化学汽相沉积的方法在Si和TiN基板上沉积钨的实验研究。沉积过程由反射率探测法实时监测,实验结果表明:钨的沉积速率依赖于WF_6和H_2的比例、压力、激光功率和基板的物理性质。实验得到了3μm宽的钨膜。
- 周一敏孙迭篪李富铭杜元成王海
- 关键词：钨硅氮化钛
- 一种直流放电原子束源
- 本发明属薄膜材料制备技术领域，具体为一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。它由阴极、阳极、阴极基座、阳极法兰、阴极法兰、圆柱形石英玻璃筒和电磁铁组成。阴极法兰和阳极法兰固定于石英玻璃筒上下两端，阴极安插于阴极基座下端，...
- 许宁杜元成应质峰李富铭
- 文献传递
- 以GaAs为原材料低温制备GaN薄膜
- 以GaAs 为靶材料,用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法制备GaN 薄膜。我们在ECR 氮等离子体环境中用脉冲激光烧蚀多晶GaAs 靶进行GaN 薄膜的低温合成沉积。成分分析显示,得到的薄膜为富氮的GaN,各组份在膜层中...
- 凌浩应质峰吴嘉达孙剑施维杜元成李富铭
- 关键词：氮化镓砷化镓等离子体
- 文献传递
- 红外辐射干涉法薄膜层外延厚度“在线”检测
- 杜元成
- 本课题利用红外辐射干涉法研制成外延厚度的检查仪。该仪器的主要技术指标为：（１）最大在线检测厚度可达３．６μｍ，最小检测厚度为０．３μｍ；（２）通过在线监测测出峰的个数，最大厚度对应有１２个峰，每相邻两个峰之间对应厚度为０...
- 关键词：
- 关键词：集成电路半导体集成电路在线检测
- 脉冲激光烧蚀沉积ZnSe薄膜的研究
- 我们用248nm的KrF准分子脉冲激光烧蚀ZnSe靶材沉积ZnSe薄膜.靶采用多晶ZnSe片,衬底采用抛光GaAs(100).衬底预处理采用化学刻蚀和高温处理.原子力显微镜(AFM)观察显示在GaAs(100)沉积的Zn...
- 许宁杜元成应质峰凌浩李富铭
- 关键词：激光烧蚀
- 文献传递
