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杨旭敏

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：苏州大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金江苏省高校自然科学研究项目江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术理学化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇学位论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇弹性模量
  • 1篇电学
  • 1篇电学性质
  • 1篇栅介质
  • 1篇栅介质薄膜
  • 1篇制备及性能
  • 1篇碳氮
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇介质
  • 1篇介质薄膜
  • 1篇高硬度
  • 1篇高K材料
  • 1篇硼
  • 1篇HF
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇粗糙度
  • 1篇BCN

机构

  • 3篇苏州大学
  • 1篇南京航空航天...
  • 1篇江苏省薄膜材...

作者

  • 3篇杨旭敏
  • 1篇吴雪梅
  • 1篇周飞
  • 1篇诸葛兰剑

传媒

  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
BCN薄膜的制备和表征
B-C-N相的特殊性质引起了人们浓厚的兴趣,以高纯B4C/(99.99/%/)靶所制备BCN薄膜由于具有优异的力学性质和耐磨性,可望在某些领域替代类金刚石膜/(DLC/)。BCN薄膜的制备方法很多,如化学气相沉积及物理气...
杨旭敏
关键词：BCN表面粗糙度弹性模量
文献传递
硼碳氮材料的研究进展
2008年
硼碳氮材料以其优异的机械、电学和光学性质,在工业领域、光电子领域等方面具有广阔的应用前景。对硼碳氮材料的研究进展作一综述,介绍了材料的结构特性、性质特点、制备方法、表征手段以及在器件方面潜在的应用。结合本实验研究小组的工作,阐述了硼碳氮材料的结构以及其高硬度特性。
杨旭敏吴雪梅诸葛兰剑周飞
关键词：高硬度
新型Hf基高K栅介质薄膜的制备及性能的研究
近年来，新型Hf基高K材料由于具有较高的K值，与Si具有好的热稳定性和优异的界面，具有宽的带隙，在高温下具有较高的重结晶温度以及较低的栅漏电流和频率色散，成为替代传统SiO2/SiN栅介质一个较为理想的候选材料，引起了众...
杨旭敏
关键词：栅介质薄膜电学性质
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