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桂裕宗

作品数:5 被引量:2H指数:1
供职机构:清华大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇SEM
  • 1篇电路
  • 1篇电子显微镜
  • 1篇压电
  • 1篇压电陶瓷
  • 1篇载流
  • 1篇载流子
  • 1篇真空
  • 1篇真空器件
  • 1篇软质
  • 1篇色纯
  • 1篇位移法
  • 1篇显微镜
  • 1篇显像管
  • 1篇线宽
  • 1篇线宽测量
  • 1篇像管
  • 1篇校形
  • 1篇校准
  • 1篇校准系统

机构

  • 5篇清华大学

作者

  • 5篇桂裕宗
  • 2篇杜秉初
  • 1篇张剑
  • 1篇周伟
  • 1篇刘慧敏
  • 1篇应根裕
  • 1篇刘惠敏

传媒

  • 1篇真空电子技术
  • 1篇1988年全...
  • 1篇第九届真空电...

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1993
  • 1篇1988
  • 2篇1985
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
高效MCP二次电子接收器在SEM中的应用被引量:2
1999年
本文详细描述了MCP在SEM 中的应用,论述了具体接收器的结构和放大系统的结构性能,给出一系列实验参数及图像的对比结果,证明了MCP接收器完全可以在SEM 中高效可靠地替代原有的接收器。
钱可元桂裕宗
关键词:电子显微镜MCPSEM
用SEM中利用固定位移法实现IC线宽测量
简要叙述了利用固定位移法,在SEM中实现对IC线宽的测量。该方法的主要优点是:方法简单,测量精度较高且与SEM系统精度无关;由于实现微机控制,测量操作是自动完成的,适用于IC生产过程中对线宽进行监测;测量装置可做为一个附...
周伟杜秉初桂裕宗
关键词:大规模集成电路压电陶瓷线宽
软玻壳精密内径真空校形工艺
软玻壳精密内径真空校形工艺,用于电真空器件的玻壳制造。本发明采用管状电炉加热对含铅软质玻壳进行真空热校形,解决了玻壳加热时铅易析出而使玻壳发黑和易炸裂的工艺问题,制定了一个可行的加工方法,并确定了成形温度的温度范围,校形...
刘惠敏桂裕宗
文献传递
动态真空八位光导靶面测试台
本实用新型是一个动态真空八位光导靶面测试台,它是用于测试光导摄象管靶面物理参数的装置,其主要特点在于具备测量光电惰性的全套电路及辅助装置,此外在机械结构上本实用新型还采用了:1)磁力耦合非接触式的机械传动装置。2)特殊磁...
应根裕杜秉初刘慧敏桂裕宗张剑
文献传递
彩管测试用色纯、静会聚校准系统
桂裕宗
关键词:彩色显像管产品质量
共1页<1>
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