汤兆胜
- 作品数：38 被引量：149H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科学技术委员会资助项目国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
- 真空室内在线更换基片的装置
- 一种真空室内实现在线更换基片的装置，包括由空心转轴和同心置放在空心转轴内的实心转轴构成的转轴。当空心转轴与实心转轴由两顶丝固定在一起时，带动基片夹具与挡板一起转动。当两顶丝松开时，空心转轴与实心转轴分别带动基片夹具和挡板...
- 齐红基汤兆胜易葵邵建达袁景梅范正修
- 文献传递
- 高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法
- 一种高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法，该高温金属蒸发舟采用经900－－1200℃高温退火处理后的钽片制作的，为长方舟，其尺寸和结构的比例关系为：蒸发舟的总长度，包括两翅片为(88±3)mm，舟槽的长、深、宽分...
- 徐学科范正修汤兆胜邵建达
- 文献传递
- 高折射率材料吸收特性对193nm HfO_2/SiO_2,Y_2O_3/SiO_2,Al_2O_3/SiO_2多层膜反射特性的影响被引量：6
- 2004年
- 由单层HfO2,SiO2,Y2O3,Al2O3膜求出其折射率和消光系数色散曲线,据此计算出HfO2/SiO2,Y2O3/SiO2,Al2O3/SiO2的193nm多层膜反射膜曲线,并用电子束热蒸发的方法进行镀制。由分光光度计测量样品的透射率和绝对反射率,求出了各种膜层的吸收曲线。结果发现HfO2/SiO2,Al2O3/SiO2反射率实验结果与理论结果吻合得很好,而Y2O3/SiO2的理论曲线偏高。通过模拟Y2O3/SiO2的反射率曲线发现Y2O3的消光系数远大于由单层膜实验得出的结果。这说明Y2O3膜层的吸收特性与薄膜的制备工艺密切相关。
- 袁景梅汤兆胜易葵邵建达范正修
- 关键词：折射率消光系数
- ZrO_2/SiO_2棱镜偏振膜的膜系优化设计与制备被引量：3
- 2005年
- 对以K9玻璃为基底,采用ZrO2 和SiO2 为高低膜料来制备棱镜偏振膜,并进行膜系优化设计。设计指标为:波长 540nm处满足Tp>99%,Ts<1%。优化结果表明,膜系以H3L(HL)13 H3LH为最佳膜系。测试结果表明,此膜系完全满足设计指标,偏振性能优良。探讨了参考波长对偏振膜工作带宽的影响。
- 沈自才孔伟金宋永香汤兆胜范正修
- 关键词：棱镜带宽
- 宽角度宽光谱反射膜及其制作方法
- 一种宽角度宽光谱反射膜及其制作方法，该反射膜包括玻璃基底，其特征是在玻璃基底上依次蒸镀有第一过渡层、金属膜层和加强膜层。最好是在第一过渡层和金属膜层之间设有第二过渡层。本发明的特点是采用镀制双过渡层结构，整个膜层可以耐高...
- 徐学科汤兆胜邵建达范正修
- 文献传递
- 氮化钛薄膜的光学性能分析被引量：15
- 2003年
- 利用磁控溅射法 ,在不同的工艺条件下制备氮化钛薄膜。详细分析了不同工艺条件下薄膜的光谱选择特性以及相应的光学常数 ,通过俄歇电子能谱对薄膜的不同深度的元素成分进行了分析 ,由原子力显微镜测量并处理得到氮化钛薄膜的表面形貌图。结果表明 ,氮化钛薄膜的光学性能严格依赖于氮和钛原子数比 ,符合化学计量比的TiN薄膜具有良好的光谱选择性。基底加负偏压溅射可进一步改善薄膜的性能。
- 金永浩姚李英汤兆胜邵建达范正修
- 关键词：氮化钛薄膜光学性能薄膜物理学光学常数
- 高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法
- 徐学科范正修汤兆胜邵建达
- 该项目采用经900-1200℃高温退火处理后的钽片制作的，为长方舟，其尺寸和结构的比例关系为：蒸发舟的总长度，包括两翅片为（88±3mm），舟槽的长、深、宽分别为45±2mm，10±3mm，24±3mm，利用该蒸发舟镀制...
- 关键词：
- 关键词：真空镀膜高温退火
- 在(111)Si基底上直接溅射合成PbTiO_3薄膜以及Pb损失的抑制被引量：1
- 2000年
- 利用射频磁控溅射系统，采用 Ｔｉ、Ｐｂ组合靶，以 Ｏ２为反应气体，在（ １１１） Ｓｉ基板上直接沉积 ＰｂＴｉＯ３薄膜，通过对不同基底温度以及沉积后的薄膜在不同的氧气氛中来用不同的降温速率降温制备。通过对所得的薄膜的结构和组成以及光学和电学特性的测试、分析得出：在５３５℃时沉积、溅射后直接充入 １０７Ｐａ的氧气并且以 ３℃／ｍｉｎ的速率降至室温，制备出了性能较好的具有钙钛矿结构的ＰｂＴｉＯ３薄膜。并对薄膜的形成机理进行了探讨。
- 赵强汤兆胜冯士猛范正修
- 关键词：PBTIO3铁电薄膜冷却速率
- 制备超薄多层膜的自动转速控厚法被引量：3
- 2001年
- 在转速控厚法的基础上 ,排除了射频溅射的电磁干扰 ,实现了自动转速控厚法。用这种方法镀制超薄多层膜时 ,可以实时记录下镀制每层膜的沉积时间、自动切换转速、完成设定周期后自动停止转动。自动转速控厚法与转速控厚法相比 ,明显降低了多层膜制备的劳动强度 ,提高了多层膜制备的成品率和监控精度。而且将在镀制复杂膜系多层膜时 。
- 祝国龙冯仕猛邵建达汤兆胜易葵范正修
- 关键词：小角X射线衍射
- 金属单层膜的小角X射线衍射强度的研究被引量：3
- 1999年
- 本文对金属单层膜进行研究，在多种样品中没有发现Ｘ射线衍射峰．我们在基底上预先淀积一层重金属膜，然后再淀积所需样品，发现样品有较好的衍射峰产生．
- 冯仕猛易葵赵强汤兆胜范正修
- 关键词：X射线衬底单层膜衍射强度金属膜
