王瑾 作品数:4 被引量:5 H指数:2 供职机构: 西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国防科技技术预先研究基金 教育部“新世纪优秀人才支持计划” 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
高k栅介质对肖特基源漏超薄体SOI MOSFET性能的影响 被引量:1 2008年 研究了高k栅介质对肖特基源漏超薄体SOI MOSFET性能的影响.随着栅介质介电常数增大,肖特基源漏(SBSD)SOI MOSFET的开态电流减小,这表明边缘感应势垒降低效应(FIBL)并不是对势垒产生影响的主要机理.源端附近边缘感应势垒屏蔽效应(FIBS)是SBSD SOI MOSFET开态电流减小的主要原因.同时还发现,源漏与栅是否对准,高k栅介质对器件性能的影响也不相同.如果源漏与栅交叠,高k栅介质与硅衬底之间加入过渡层可以有效地抑制FIBS效应.如果源漏偏离栅,采用高k侧墙并结合堆叠栅结构,可以提高驱动电流.分析结果表明,来自栅极的电力线在介电常数不同的材料界面发生两次折射.根据结构参数的不同可以调节电力线的疏密,从而达到改变势垒高度,调节驱动电流的目的. 栾苏珍 刘红侠 贾仁需 蔡乃琼 王瑾关键词:高K栅介质 纳米尺度全耗尽SOI MOSFET阈值电压的修正模型 2007年 针对纳米器件中出现的量子化效应,考虑了薄层全耗尽SOI MOSFET沟道反型层电子的量子化,研究了反型层量子化效应对阈值电压的影响。结果表明,沟道反型层的量子化效应导致阈值电压增大,推导并给出了纳米尺度全耗尽SOI MOSFET的阈值电压修正模型。 王瑾 刘红侠 栾苏珍关键词:SOI 量子效应 阈值电压 反型层 考虑量子效应的超薄体双栅肖特基源漏MOSFET电流解析模型(英文) 被引量:2 2008年 推导了超薄体双栅肖特基势垒MOSFET器件的漏电流模型,模型中考虑了势垒高度变化和载流子束缚效应.利用三角势垒近似求解薛定谔方程,得到的载流子密度和空间电荷密度一起用来得到量子束缚效应.由于量子束缚效应的存在,第一个子带高于导带底,这等效于禁带变宽.因此源漏端的势垒高度提高,载流子密度降低,漏电流降低.以前的模型仅考虑由于镜像力导致的肖特基势垒降低,因而不能准确表示漏电流.包含量子束缚效应的漏电流模型克服了这些缺陷.结果表明,较小的非负肖特基势垒,甚至零势垒高度,也存在隧穿电流.二维器件模拟器Silvaco得到的结果和模型结果吻合得很好. 栾苏珍 刘红侠 贾仁需 蔡乃琼 王瑾 匡潜玮关键词:肖特基势垒 量子效应 电子密度 异质栅非对称Halo SOI MOSFET亚阈值电流模型 被引量:2 2008年 在沟道源端一侧引入高掺杂Halo结构的异质栅SOI MOSFET,可以有效降低亚阈值电流.通过求解二维泊松方程,为该器件建立了亚阈值条件下的表面势模型.利用常规漂移-扩散理论,在表面势模型的基础上,推导出新结构器件的亚阈值电流模型.为了求解简单,文中给出了一种分段近似方法,从而得到表面势的解析表达式.结果表明,所得到的表面势解析表达式和确切解的结果高度吻合.二维器件数值模拟器ISE验证了通过表面势解析表达式得到的亚阈值电流模型,在亚阈值区二者所得结果吻合得很好. 栾苏珍 刘红侠 贾仁需 王瑾关键词:异质栅 SOI 亚阈值电流 二维解析模型