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赵枫
作品数:
2
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴东方
复旦大学
倪作廷
复旦大学
贾波
复旦大学
武力
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赵枫
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武力
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贾波
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倪作廷
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吴东方
年份
1篇
2007
1篇
2006
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无籽晶铜互连超薄扩散阻挡层Ru/Ta-Si-N双层结构研究
由于高导电能力和良好的抗电迁徙能力,Cu现在已经是0.13微米以下超大规模集成电路工艺的金属互连材料。当工艺特征尺寸不断减小(<45nm),沟槽和通孔深宽比增加的情况下,现有的物理汽相沉积(PVD)溅射的扩散阻挡层和铜籽...
赵枫
关键词:
互连工艺
扩散阻挡层
文献传递
光纤通信线路安防监控系统
倪作廷
贾波
吴东方
赵枫
武力
复旦大学开发的光缆通信线路安防监测系统,针对目前光纤通信面临的窃听、破坏等隐患,通过对光缆线路的实时监测,对光缆线路上的各种扰动的信息采集和分析,判定扰动发生的位置、类型、强度,以帮助线路维护人员及时发现光缆信息窃取、入...
关键词:
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光缆
安防
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