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赵枫

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:复旦大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇通信
  • 1篇通信线
  • 1篇通信线路
  • 1篇铜互连
  • 1篇籽晶
  • 1篇阻挡层
  • 1篇扩散阻挡层
  • 1篇互连
  • 1篇互连工艺
  • 1篇监控系统
  • 1篇光缆
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤通信
  • 1篇光纤通信线路
  • 1篇安防
  • 1篇安防监控
  • 1篇安防监控系统
  • 1篇A-SI
  • 1篇N

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇赵枫
  • 1篇武力
  • 1篇贾波
  • 1篇倪作廷
  • 1篇吴东方

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
无籽晶铜互连超薄扩散阻挡层Ru/Ta-Si-N双层结构研究
由于高导电能力和良好的抗电迁徙能力,Cu现在已经是0.13微米以下超大规模集成电路工艺的金属互连材料。当工艺特征尺寸不断减小(<45nm),沟槽和通孔深宽比增加的情况下,现有的物理汽相沉积(PVD)溅射的扩散阻挡层和铜籽...
赵枫
关键词:互连工艺扩散阻挡层
文献传递
光纤通信线路安防监控系统
倪作廷贾波吴东方赵枫武力
复旦大学开发的光缆通信线路安防监测系统,针对目前光纤通信面临的窃听、破坏等隐患,通过对光缆线路的实时监测,对光缆线路上的各种扰动的信息采集和分析,判定扰动发生的位置、类型、强度,以帮助线路维护人员及时发现光缆信息窃取、入...
关键词:
关键词:光缆安防
共1页<1>
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