郑为民
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国工程物理院更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 工件面形的精确测量仿真被引量：1
- 2008年
- 对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。
- 易亨瑜胡晓阳陈门雪王文东郑为民
- 关键词：光学测量相位展开相移
- 工件面形的精确测量仿真
- 对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面...
- 易亨瑜胡晓阳陈门雪王文东郑为民
- 关键词：光学测量相位展开模拟仿真
- 文献传递
- 工件面形的精确测量仿真
- 对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面...
- 易亨瑜胡晓阳陈门雪王文东郑为民
- 关键词：光学测量相位展开相移
- 文献传递
