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郝玉清

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇硅单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇单晶炉
  • 1篇直拉硅
  • 1篇直拉硅单晶
  • 1篇坩埚
  • 1篇氧

机构

  • 2篇北京有色金属...

作者

  • 2篇方锋
  • 2篇常青
  • 2篇郝玉清
  • 2篇张果虎
  • 2篇秦福
  • 2篇吴志强
  • 1篇万关良

传媒

  • 2篇稀有金属

年份

  • 1篇1998
  • 1篇1997
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Φ125mm硅单晶的控氧技术被引量：1
1997年
Φ１２５ｍｍ硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福（北京有色金属研究总院，北京１０００８８）关键词：硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构１引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求，需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...
张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福
关键词：坩埚单晶硅单晶炉
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
1998年
为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
郝玉清张果虎常青方锋吴志强万关良秦福
关键词：硅单晶
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