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郭建成

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院物理系更多>>
发文基金：科技部基础研究重大项目前期研究专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇溅射
  • 2篇和光
  • 2篇表面形貌
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇性能研究
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇O
  • 1篇X
  • 1篇CD

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇郭建成
  • 2篇潘石
  • 1篇孙伟
  • 1篇孙成伟
  • 1篇吴世法

传媒

  • 1篇电子显微学报
  • 1篇第九届全国扫...

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
磁控溅射生长CdxZn1-xO薄膜的表面形貌、结晶特性和光学性能研究
本文采用射频反应磁控溅射方法,在Si(100)上制备了不同Cd含量的CdxZn1-xO的薄膜.利用电子探针(EPMA)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的成分、表面形貌和晶体结构进行系统表征.结果表明:...
郭建成潘石孙成伟吴世法孙伟
关键词：磁控溅射光学性能
文献传递
磁控溅射生长Cd_xZn_(1-x)O薄膜的表面形貌、结晶特性和光学性能研究被引量：1
2006年
本文采用射频反应磁控溅射方法,在Si(100)上制备了不同Cd含量的CdxZn1-xO的薄膜。利用电子探针(EPMA)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的成分、表面形貌和晶体结构进行系统表征。结果表明:CdxZn1-xO(0≤x≤0.179)薄膜具有c轴择优取向,随着Cd含量增加,薄膜半峰宽(FWHM)变大,表面粗糙度增加,当x=0.108时出现相分离。透射光谱测试表明,通过调节Cd含量实现了对CdxZn1-xO的薄膜能带的调节。
郭建成潘石孙成伟吴世法孙伟
关键词：磁控溅射
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