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陈广忠

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇压阻
  • 4篇压阻式
  • 4篇轴力
  • 4篇军事
  • 4篇军事领域
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 2篇电阻
  • 2篇压敏电阻
  • 2篇同时测量
  • 2篇锚点
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 2篇垂直面
  • 1篇电荷放大器
  • 1篇电路
  • 1篇电容
  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...

机构

  • 6篇北京大学

作者

  • 6篇陈广忠
  • 5篇张威
  • 5篇苏卫国
  • 5篇李宋
  • 1篇万松

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 1篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种MEMS压阻式多轴力传感器及其制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器及其制备方法。本发明的多轴力传感器包括：衬底、悬臂梁和压阻条；其中，悬臂梁的一端通过锚点固定在衬底，另一端悬空；压阻条设置在悬臂梁的垂直面和平行面上，为一体的压阻条。本发明由于采...
张威周浩楠戴啸宁沈唯真苏卫国李宋陈广忠
文献传递
一种MEMS压阻式多轴力传感器的制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器的制备方法。本发明采用倾斜角度注入的方法，在悬臂梁的垂直的侧面上加工压敏电阻，在垂直的侧面和水平的正面上形成一体的压敏电阻，从而能够同时测量垂直方向和水平方向的压力。本发明的方法...
张威周浩楠戴啸宁沈唯真苏卫国李宋陈广忠
文献传递
一种新型MEMS电容式加速度计温度补偿电路
本发明公开一种集成温度补偿模块的电容式加速度计读出电路。传统的读出电路在电荷放大器后级对输出进行校正，信号放大的同时，噪声也放大相同的增益。本发明公开的读出电路采用不同的处理办法：温度补偿模块通过改变相应可变电容的容值来...
万松张威苏卫国李宋陈广忠徐楷斯
文献传递
硅加速度计校准软件的设计与实现
随着汽车电子、机器人、自动化等行业的蓬勃发展，传感器在各行业中得到了广泛的应用，同时对传感器的精确度也有了更高的要求。然而，特别是在现代高精密仪器仪表中，由于传感器普遍存在着零点输出漂移、热零点漂移、热灵敏度漂移和非线性...
陈广忠
关键词：人机交互
一种MEMS压阻式多轴力传感器及其制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器及其制备方法。本发明的多轴力传感器包括：衬底、悬臂梁和压阻条；其中，悬臂梁的一端通过锚点固定在衬底，另一端悬空；压阻条设置在悬臂梁的垂直面和平行面上，为一体的压阻条。本发明由于采...
张威周浩楠戴啸宁沈唯真苏卫国李宋陈广忠
一种MEMS压阻式多轴力传感器的制备方法
本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器的制备方法。本发明采用倾斜角度注入的方法，在悬臂梁的垂直的侧面上加工压敏电阻，在垂直的侧面和水平的正面上形成一体的压敏电阻，从而能够同时测量垂直方向和水平方向的压力。本发明的方法...
张威周浩楠戴啸宁沈唯真苏卫国李宋陈广忠
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