陈文浩
- 作品数：12 被引量：6H指数：1
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种电容式湿度传感器
- 本发明公开了一种电容式湿度传感器，从下到上依次包括下部硅片、下加热器、下金属层、下钝化层、下感湿材料层、上感湿材料层、上钝化层、上金属层和上部硅片；下部硅片上设有下硅片绝缘层，下加热器设在下硅片绝缘层上，且在下加热器之间...
- 黄见秋陈文浩任青颖黄庆安
- 文献传递
- 一种基于氧化石墨烯的电容式温度传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种基于氧化石墨烯的电容式温度传感器及其制备方法，电容式温度传感器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、绝缘层、氧化石墨烯层和石墨烯层，其中下电极分为不相接触的两部分，分别称为左侧下电极和右侧下电极；所述左侧...
- 黄见秋陈文浩
- 文献传递
- 一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种集成超声结构的电容式湿度传感器及其制法，电容式湿度传感器包括超声换能器结构和若干湿度敏感电容结构，湿度敏感电容结构设置在超声换能器结构上方；超声换能器结构包括由下至上依次设置的衬底、压电材料层和中间金属层...
- 黄见秋陈文浩
- 一种抗风压的气压传感器封装结构
- 本发明公开了一种抗风压的气压传感器封装结构，从下至上包括芯片基板、气压传感器和封装管壳，所述封装管壳的下部设有封装腔，所述气压传感器置于封装腔内，所述封装管壳置于芯片基板上，所述芯片基板上设有若干上下贯通的基板通风孔，所...
- 黄见秋陈文浩黄庆安
- 一种叉指三明治结构的电容式湿度传感器
- 本发明公开了一种叉指三明治结构的电容式湿度传感器，包括硅衬底和若干电容式湿度传感单元；所述电容式湿度传感单元包括由下至上依次设置的绝缘层、叉指电极、钝化层、感湿材料层和浮置上电极，在绝缘层内置有加热结构，所有电容式湿度传...
- 黄见秋陈文浩
- 文献传递
- 片上加热电容式湿度传感器研究被引量：6
- 2015年
- 提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析,并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下,传感器温度上升约30℃,且温度分布均匀,传感器敏感区域温差<4℃。在加热与不加热条件下,分别对传感器的湿度敏感特性与响应时间特性进行了测试。不加热时,传感器的灵敏度为0.009 13 p F/%r H,回滞≈0.12 p F,响应时间约120.8 s;以5 V脉冲信号加热后,传感器灵敏度为0.009 03p F/%r H,最大回滞≈0.025 p F,响应时间约75.2 s。加热后传感器性能有了显著提高。
- 陈文浩黄见秋
- 关键词：湿度传感器电容式
- 探空仪MEMS湿度传感器研究
- 气象监测具有重要的社会意义和经济意义，随着物联网产业的发展以及在气象监测领域的应用，湿度传感器成为气象行业发展的重要瓶颈之一。在所有的气象探测活动中，空基观测极为重要，相应的测试仪器（探空仪）对高性能湿度传感器提出了特殊...
- 陈文浩
- 关键词：探空仪微机电系统响应特性
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- 一种电容式湿度传感器
- 本发明公开了一种电容式湿度传感器，从下到上依次包括下部硅片、下加热器、下金属层、下钝化层、下感湿材料层、上感湿材料层、上钝化层、上金属层和上部硅片；下部硅片上设有下硅片绝缘层，下加热器设在下硅片绝缘层上，且在下加热器之间...
- 黄见秋陈文浩任青颖黄庆安
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- 一种基于氧化石墨烯的电容式温度传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种基于氧化石墨烯的电容式温度传感器及其制备方法，电容式温度传感器，包括由下至上依次设置的衬底、下电极、绝缘层、氧化石墨烯层和石墨烯层，其中下电极分为不相接触的两部分，分别称为左侧下电极和右侧下电极；所述左侧...
- 黄见秋陈文浩
- 文献传递
- 基于黑磷烯的湿度传感器研究
- 湿度传感器是最常用的传感器之一，被广泛应用于气象研究、环境监测、工业过程控制、农业生产和健康医疗等众多领域。随着科学技术的进步，特别是近年来物联网技术的快速发展，人们对掌握环境信息的需求越来越强烈，也对湿度传感器的性能提...
- 陈文浩
- 关键词：湿度传感器柔性传感器等效电路
- 文献传递
